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Auteur(s)
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Jacky RUSTE : Ingénieur INSA, docteur-ingénieur, ingénieur senior - EDF recherches et développement, Centre des Renardières - Département matériaux et mécanique des composants (Moret-sur-Loing)
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4. Analyse quantitative et calculs de correction
En microanalyse X par sonde électronique, la quantification est rendue possible par une très bonne connaissance des processus physiques liés à la diffusion électronique dans la cible, à l'ionisation et à l'absorption photoélectrique du rayonnement X engendré [2] [4] [6]. Rappelons qu'en microanalyse X électronique, la grandeur mesurée est le titre massique, c'est-à-dire le rapport de la masse de l'élément analysé à la masse totale dans le volume d'analyse et non, comme on l'écrit souvent par abus de langage, la concentration massique.
4.1 Émission X d'une cible massive
L'intensité X détectée peut être décrite par la relation suivante :
avec :
- n :
- nombre d'électrons primaires,
- CA :
- titre massique de l'élément A analysé
,
- N 0 :
- nombre d'Avogadro,
- A :
- masse atomique,
- β :
- angle d'inclinaison éventuel de la cible par rapport au faisceau incident,
- :
- section efficace d'ionisation relative du niveau j de l'élément A pour une énergie des électrons primaires de E0 ,
- f (ρz ) :
- fonction de distribution de l'ionisation en profondeur (figure 10),
- ρz :
- profondeur massique,
- χ :
- facteur...
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Analyse quantitative et calculs de correction
BIBLIOGRAPHIE
-
(1) - NEUILLY (M.), COURTIER (J.C.) - Erreurs et incertitudes de mesures. - [P 100] Base documentaire Archives Analyse-mesures (1997).
-
(2) - NEUILLY (M.) - Modélisation et calcul de l'incertitude d'un résultat de mesure. - [P 260] Base documentaire Archives Analyse-mesures (1996).
-
(3) - NEUILLY (M.) - Limite de détection. - [P 262] Base documentaire Mesures - Analyses (1998).
-
(4) - NEUILLY (M.) - Erreurs de mesure. - [R 280] Base documentaire Archives Mesures : généralités (1987).
ANNEXES
###
Ouvrages généraux En langue française
MAURICE (F.) - MENY (L.) - TIXIER (R.) - Microscopie électronique à balayage et microanalyses. - École d'été de Saint-Martin d'Hères (1978), Les Éditions de physique (épuisé) (1979).
GN-MEBA - BRISSET (F.) - Microscopie électronique à balayage et microanalyses. - Édité par BRISSET (F.), en collaboration avec REPOUX (M.), RUSTE (J.), GRILLON (F.) et ROBAUT (F.), École d'été de Saint-Martin d'Hères (2006), EDP Sciences (2008).
BENOÎT (D.) - GRILLON (F.) - MAURICE (F.) - ROINEL (N.) - RUSTE (J.) - TIXIER (R.) - Microanalyse par sonde électronique : la spectrométrie de rayons X. - Collection GN-MEBA, EDP Sciences (1987).
BENOÎT (D.) - BRAULT (F.) - BRESSE (J.F.) - GRILLON (F.) - MAURICE (F.) - POUCHOU (J.L.) - RUSTE (J.) - Microanalyse par sonde électronique : aspects quantitatifs. - Collection GN-MEBA, EDP Sciences (1989).
BRESSE (J.F.) - Travaux pratiques de microscopie électronique à balayage et de microanalyse X. - Collection GN-MEBA, EDP Sciences (1994).
BRESSE (J.F.) - FIALIN (M.) - POUCHOU (J.L.) - Microanalyse X par sonde électronique: méthodes de Monte Carlo et modèles de correction. - Collection GN-MEBA, EDP Sciences (1997).
En langue anglaise
HEINRICH (K.F.J.) - Electron beam X-ray microanalysis. -...
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