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Auteur(s)
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Jean LECLERC : Ingénieur de l’École supérieure de chimie industrielle de Lyon - Docteur 3e cycle chimie minérale et structurale - Consultant
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La très grande diversité des applications du vide nous oblige à ne donner ici que des généralités. Il faut néanmoins remarquer que les progrès réalisés pour l’industrie de la microélectronique et de la nanotechnologie ont été source d’innovations et de développements qui se sont répercutés sur d’autres industries. La fer tilisation croisée est difficile entre toutes les applications (nucléaire, spatiale, médicale, agroalimentaire, chimie fine…). Chacune d’elles s’exprime dans un langage et une culture qui lui est propre. Aussi, il ne faut pas hésiter à rencontrer les divers acteurs des applications du vide pour s’améliorer.
On ne fait pas le vide pour faire du vide, hormis quelques applications (accélérateurs de particules, tubes électroniques…).
La science du vide est la même pour tous.
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Conclusion : Qualité du vide. Le vide propre
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5. Mesure de la contamination des surfaces
Dans le système sous vide, nous avons affaire, suivant les besoins, à deux types de contamination :
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la contamination par l’atmosphère gazeuse, qui est accessible par l’analyse des gaz résiduels ;
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la contamination des surfaces par des traitements physico-chimiques, qui est accessible par les techniques d’analyse de surface (spectroscopie Auger, S.E.M. Scanning Electron Microscope - X.P.S. Xray Photoelectron Spectroscopy) ; toutes ces techniques sont à mettre en œuvre quand il s’agit de mesurer la propreté d’une enceinte et .
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Le premier type consiste à recueillir sur des plaquettes à surface polie les espèces qui veulent bien s’y déposer. On peut, bien sûr, refroidir à des températures très différentes (température am-biante : cas des molécules d’huile à forte tension de vapeur ; température de l’azote liquide : cas des fragments de décomposition d’huile, cas des produits de dégazage…) ...
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Mesure de la contamination des surfaces
BIBLIOGRAPHIE
-
(1) - PERILLAT-AMEDE (D.) - Mesure du vide. - TI R 2 050.
-
(2) - ROMMEL (G.) - Dimensionnement et calcul des installations sous vide. - TI B 4 080.
-
(3) - ROMMEL (G.) - Technique du vide. Généralités. - TI B 4 020.
-
(4) - VERTES (M.) - Types of contaminations, their depositions on surface and the technology of cleaning of metal and glass parts of UHV equipement. - Vuoto vol. XX no 2 avril-juin 1990.
-
(5) - SANTELER (D.), WARREN (D.) - Computer solution to chamber-gas fractionation during pumpdown. - JVST A11 (1) janv.-févr. 1993.
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(6) - SANTELER (D.) - Computer design and analysis of vacuum systems. - JVST A5 (4) juill.-août 1987 p. 2 472-2 478.
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