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Auteur(s)
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Jean LECLERC : Ingénieur de l’École supérieure de chimie industrielle de Lyon - Docteur 3e cycle chimie minérale et structurale - Consultant
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La très grande diversité des applications du vide nous oblige à ne donner ici que des généralités. Il faut néanmoins remarquer que les progrès réalisés pour l’industrie de la microélectronique et de la nanotechnologie ont été source d’innovations et de développements qui se sont répercutés sur d’autres industries. La fer tilisation croisée est difficile entre toutes les applications (nucléaire, spatiale, médicale, agroalimentaire, chimie fine…). Chacune d’elles s’exprime dans un langage et une culture qui lui est propre. Aussi, il ne faut pas hésiter à rencontrer les divers acteurs des applications du vide pour s’améliorer.
On ne fait pas le vide pour faire du vide, hormis quelques applications (accélérateurs de particules, tubes électroniques…).
La science du vide est la même pour tous.
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Mesure de la contamination des surfaces
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4. Mesure de l’atmosphère résiduelle
4.1 Généralités
On demande à un chimiste-analyste : qu’y a-t-il dans ce produit ? Celui-ci vous répond : que recherchez-vous ? En effet, le chimiste ne peut pas deviner, parmi les millions d’espèces chimiques existantes, celles que vous souhaitez trouver. Aussi, l’expertise des atmosphères gazeuses relève d’une démarche particulière. Ce sont des mesures difficiles, car elles résultent d’un équilibre entre les molécules dans la phase gazeuse et les molécules absorbées sur les parois. Le moindre apport d’énergie sur la surface va remettre dans la phase gazeuse des molécules nouvelles qui vont se réadsorber ailleurs. L’instrument de mesure crée d’ailleurs une certaine perturbation dans le milieu (dégazage provoqué par le filament).
Quels sont donc les moyens que le vidiste possède pour effectuer son expertise ? Compte tenu de la spécificité du vide, c’est-à-dire une densité moléculaire très faible, il n’a pas beaucoup de choix et il doit ruser avec la physique.
HAUT DE PAGE4.2 Analyseur de gaz résiduels
C’est l’outil de choix, mais qui doit être exploité par un spécialiste (cf. les articles spécialisés, [ et ]). Le grave défaut rédhibitoire des analyseurs actuels est de posséder une source d’ionisation qui contient un filament chaud (tungstène, rhénium, iridium thorié), de température comprise entre 1 100 et 1 600 oC, qu’il faut d’ailleurs définir selon son propre besoin. Ce filament va générer des espèces chimiques qui n’existent pas forcément dans le milieu à...
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Mesure de l’atmosphère résiduelle
BIBLIOGRAPHIE
-
(1) - PERILLAT-AMEDE (D.) - Mesure du vide. - TI R 2 050.
-
(2) - ROMMEL (G.) - Dimensionnement et calcul des installations sous vide. - TI B 4 080.
-
(3) - ROMMEL (G.) - Technique du vide. Généralités. - TI B 4 020.
-
(4) - VERTES (M.) - Types of contaminations, their depositions on surface and the technology of cleaning of metal and glass parts of UHV equipement. - Vuoto vol. XX no 2 avril-juin 1990.
-
(5) - SANTELER (D.), WARREN (D.) - Computer solution to chamber-gas fractionation during pumpdown. - JVST A11 (1) janv.-févr. 1993.
-
(6) - SANTELER (D.) - Computer design and analysis of vacuum systems. - JVST A5 (4) juill.-août 1987 p. 2 472-2 478.
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