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Article

1 - PHYSIQUE DU SEMI-CONDUCTEUR EN ÉLECTRONIQUE DE PUISSANCE

2 - PHÉNOMÈNES PHYSIQUES MIS EN JEU DANS LES COMPOSANTS À SEMI-CONDUCTEUR DE PUISSANCE

3 - COMPOSANTS À SEMI-CONDUCTEUR DE PUISSANCE FONDAMENTAUX

4 - COMPOSANTS DE PUISSANCE EN MATÉRIAU À LARGE BANDE INTERDITE

5 - CONCLUSION

6 - GLOSSAIRE

Article de référence | Réf : E3960 v2

Physique du semi-conducteur en électronique de puissance
Introduction aux composants de microélectronique de puissance

Auteur(s) : Luong Viêt PHUNG

Date de publication : 10 juin 2019

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RÉSUMÉ

La microélectronique de puissance est une branche de la microélectronique qui s’intéresse à la conception et à la fabrication de composants à semi-conducteur destinés à des applications parfois forte tension et/ou fort courant. La microélectronique de puissance a vu pendant plusieurs dizaines d’années des technologies qui lui sont propres se développer, permettant de répondre aux exigences énergétiques de demain. Cet article présente les mécanismes physiques de quelques composants fondamentaux issus des technologies en question.

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ABSTRACT

Introduction to power microelectronic devices

Power microelectronic can be summarized as a subdomain of the huge microelectronic industry. By focusing on achieving high voltage and high current devices, it has overcome its own challenges and developed its own technologies to cope with the future evolutions linked to the switch from fossil to renewable energies. The present article summarizes the physics of some of the most widespread power devices.

Auteur(s)

  • Luong Viêt PHUNG : Maître de conférence des universités - Département de Génie Électrique de l’INSA de Lyon, - Chercheur au laboratoire Ampère, UMR CNRS 5005, Campus Lyon Tech-La Doua, Villeurbanne, France

INTRODUCTION

À l’aube de la transition énergétique, accélérée par la raréfaction des ressources en énergie fossile et à la prise de conscience liée aux enjeux environnementaux et écologiques, acheminer aux clients l’énergie électrique sur de longues distances à partir de multiples sources renouvelables (ou pas) imposent des défis dans la conversion de puissance où les composants actifs de puissance jouent un rôle essentiel.

L’acheminement en HVDC (courant direct, très haute tension) exige des convertisseurs dont les tensions de travail pourront avoisiner 10 kV et oblige à repenser leurs architectures. Ces convertisseurs reposent sur des interrupteurs de puissance réalisés à partir de matériaux semi-conducteurs. Leur étude relève de la microélectronique de puissance. Ayant les mêmes racines que la microélectronique de signal, la microélectonique de puissance a évolué de son côté avec le développement de ses propres technologies. Ainsi, il n’existe pas d’IGBT pour l’électronique de signal tout comme les superjonctions y ont un intérêt plus que limité.

Alors que le microélectonique de signal privilégiait la miniaturisation des composants en réduisant toujours plus la « finesse » de gravure des composants, la microélectronique de puissance, celle privilégiant l’acheminement de l’énergie électrique jusqu’aux foyers des consommateurs, a toujours recherché des composants supportant des tensions bien plus élevées (jusqu’à plusieurs milliers de volts). Le but a toujours été de parvenir au meilleur compromis entre la tension à supporter et la densité de courant admissible (jusqu’à 100 A.cm−2) en essayant de privilégier des composants verticaux qui pouvaient tirer profit de tout le volume du substrat semi-conducteur se lequel ils reposent.

Réalisés ainsi à partir de matériaux semi-conducteurs, ces composants seront toujours tributaires de leurs propriétés physiques, ce qui explique les limitations en performances telles que des tensions d’avalanche limitées par des champs électriques critiques insuffisants ou des résistances à l’état passant toujours trop élevées à cause du compromis entre l’état passant et l’état bloqué.

Cet article présente les principaux rouages des diodes bipolaires, des transistors de type bipolaire commandé en courant, puis des transistors de type MOSFET et IGBT commandés en tension. Les phénomènes d’avalanche et de conduction sont abordés en fonction de la topologie de la structure et des mécanismes qui seront mis en œuvre. Cet article se termine par un résumé sur le développement de matériaux à large bande interdite communément appelés martériaux semi-conducteurs à grand gap. Ayant des propriétés physiques en tout point supérieures à celles du silicium, les composants dits à grand gap sont déjà commercialisés, notamment ceux en carbure de silicium (SiC) et en nitrure de gallium (GaN). Le développement de ces technologies et leurs défis sont passés en revue.

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KEYWORDS

power electronics   |   semi-conductors device physics   |   bipolar diodes and transistors   |   MOSFET and IGBT

VERSIONS

Il existe d'autres versions de cet article :

DOI (Digital Object Identifier)

https://doi.org/10.51257/a-v2-e3960


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1. Physique du semi-conducteur en électronique de puissance

Les composants de puissance à semi-conducteur sont une catégorie de composants à semi-conducteur dont la conception a été pensée pour la conversion et le contrôle de l’énergie électrique.

Ayant tout d’abord profité des progrès de l’industrie de la microélectronique, leur développement s’est poursuivi grâce à des technologies qui leur sont propres. Les composants à semi-conducteur de puissance remplissent le rôle d’interrupteur, c’est-à-dire qu’ils sont tantôt ouverts, tantôt fermés. Par conséquent, les phénomènes physiques mis en jeu, identiques bien entendus à ceux des autres composants à semi-conducteur, sont mis à contribution ici pour remplir ce rôle précis d’interrupteur. La conception des composants de puissance se situe à l’intersection des domaines de la physique du matériau semi-conducteur, des technologies de la microélectronique et de l’électronique de puissance.

1.1 Définition de la fonction « interrupteur »

En électronique de puissance, les composants actifs fonctionnent en régime de commutation, régime dicté par l’architecture des convertisseurs de puissance. Ils basculent in fine entre deux états : un état dit bloqué ou ouvert (aucun courant ne peut circuler) et un état dit passant ou fermé (un courant peut circuler). Nous n’évoquons pas ici la manière dont l’interrupteur passe d’un état à l’autre : ce peut être de manière « dure » (passage franc et rapide) ou « doux » (passage suivant une trajectoire à la forme plus arrondie). En ce sens, leur comportement en tant qu’interrupteur se devra d'être identique à celui de leur homologue mécanique. Le basculement de l’état ouvert vers l’état fermé correspond à la fermeture de l’interrupteur (ou mise en conduction), tandis que son ouverture (ou blocage) correspond au basculement inverse.

Dans leur rôle d’interconnecter les cellules et d’aiguiller le courant, on répertorie onze fonctionnalités possibles indiquées dans la figure 1. Les caractéristiques statiques qui y sont présentées illustrent un comportement proche de l’idéal pour les états passants...

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BIBLIOGRAPHIE

  • (1) - ROULSTON (D.J.) -   Bipolar Semi-conductor devices.  -  McGraw-Hill Education (1990).

  • (2) - BALIGA (B.J.) -   Power semi-conductor devices.  -  Springer Science & Business Media (1996).

  • (3) - NIU (S.) -   Conception, optimisation et caractérisation d’un transistor à effet de champ haute tension en Carbure de Silicium.  -  Thèse de l’Université de Lyon (2016).

  • (4) - OUAIDA (R.), BERTHOU (M.), LÉON (J.), PERPINA (X.), OGE (S.), BROSSELARD (P.), JOUBERT (C.) -   Gate Oxide Degradation of SiC MOSFET in Switching Conditions.  -  IEEE ELECTR DEVICE L, Vol. 35 (2014).

  • (5) - BUTTAY (C.), OUAIDA (R.), MOREL (H.), BERGOGNE (D.), RAYNAUD (C.), MOREL (F.) -   Thermal Stability of Silicon Carbide Power JFETs.  -  IEEE Trans. On Electron. Dev., Vol. 60 (2013).

  • (6)...

1 Outils logiciels

Analog Devices, novembre 2018, LTSpice (versions pour Windows 7, 8 et 10 et macOS 10.7 +), https://www.analog.com/en/design-center/design-tools-and-calculators/ltspice-simulator.html (Logiciel).

Synopsys, Août 2018, Sentaurus TCAD (versions pour x86_61 RHEL Enterprise (64 https://www.synopsys.com/silicon/tcad.html) (Logiciel).

Cadence , Circuit design, https://www.cadence.com/content/cadence-www/global/en_US/home/tools/custom-ic-analog-rf-design/circuit-design.html

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2 Événements

SGE (Symposium du Génie Électrique) a lieu tous les deux ans ( https://www.sge-conf.fr).

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3 Annuaire

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