Présentation
En anglaisRÉSUMÉ
La microélectronique de puissance est une branche de la microélectronique qui s’intéresse à la conception et à la fabrication de composants à semi-conducteur destinés à des applications parfois forte tension et/ou fort courant. La microélectronique de puissance a vu pendant plusieurs dizaines d’années des technologies qui lui sont propres se développer, permettant de répondre aux exigences énergétiques de demain. Cet article présente les mécanismes physiques de quelques composants fondamentaux issus des technologies en question.
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Power microelectronic can be summarized as a subdomain of the huge microelectronic industry. By focusing on achieving high voltage and high current devices, it has overcome its own challenges and developed its own technologies to cope with the future evolutions linked to the switch from fossil to renewable energies. The present article summarizes the physics of some of the most widespread power devices.
Auteur(s)
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Luong Viêt PHUNG : Maître de conférence des universités - Département de Génie Électrique de l’INSA de Lyon, - Chercheur au laboratoire Ampère, UMR CNRS 5005, Campus Lyon Tech-La Doua, Villeurbanne, France
INTRODUCTION
À l’aube de la transition énergétique, accélérée par la raréfaction des ressources en énergie fossile et à la prise de conscience liée aux enjeux environnementaux et écologiques, acheminer aux clients l’énergie électrique sur de longues distances à partir de multiples sources renouvelables (ou pas) imposent des défis dans la conversion de puissance où les composants actifs de puissance jouent un rôle essentiel.
L’acheminement en HVDC (courant direct, très haute tension) exige des convertisseurs dont les tensions de travail pourront avoisiner 10 kV et oblige à repenser leurs architectures. Ces convertisseurs reposent sur des interrupteurs de puissance réalisés à partir de matériaux semi-conducteurs. Leur étude relève de la microélectronique de puissance. Ayant les mêmes racines que la microélectronique de signal, la microélectonique de puissance a évolué de son côté avec le développement de ses propres technologies. Ainsi, il n’existe pas d’IGBT pour l’électronique de signal tout comme les superjonctions y ont un intérêt plus que limité.
Alors que le microélectonique de signal privilégiait la miniaturisation des composants en réduisant toujours plus la « finesse » de gravure des composants, la microélectronique de puissance, celle privilégiant l’acheminement de l’énergie électrique jusqu’aux foyers des consommateurs, a toujours recherché des composants supportant des tensions bien plus élevées (jusqu’à plusieurs milliers de volts). Le but a toujours été de parvenir au meilleur compromis entre la tension à supporter et la densité de courant admissible (jusqu’à 100 A.cm−2) en essayant de privilégier des composants verticaux qui pouvaient tirer profit de tout le volume du substrat semi-conducteur se lequel ils reposent.
Réalisés ainsi à partir de matériaux semi-conducteurs, ces composants seront toujours tributaires de leurs propriétés physiques, ce qui explique les limitations en performances telles que des tensions d’avalanche limitées par des champs électriques critiques insuffisants ou des résistances à l’état passant toujours trop élevées à cause du compromis entre l’état passant et l’état bloqué.
Cet article présente les principaux rouages des diodes bipolaires, des transistors de type bipolaire commandé en courant, puis des transistors de type MOSFET et IGBT commandés en tension. Les phénomènes d’avalanche et de conduction sont abordés en fonction de la topologie de la structure et des mécanismes qui seront mis en œuvre. Cet article se termine par un résumé sur le développement de matériaux à large bande interdite communément appelés martériaux semi-conducteurs à grand gap. Ayant des propriétés physiques en tout point supérieures à celles du silicium, les composants dits à grand gap sont déjà commercialisés, notamment ceux en carbure de silicium (SiC) et en nitrure de gallium (GaN). Le développement de ces technologies et leurs défis sont passés en revue.
Le lecteur trouvera en fin d'article un glossaire des termes utilisés.
MOTS-CLÉS
électronique de puissance physique du composant semi-conducteur diodes et transistors bipolaires MOSFET et IGBT
KEYWORDS
power electronics | semi-conductors device physics | bipolar diodes and transistors | MOSFET and IGBT
VERSIONS
- Version archivée 1 de août 2000 par François BERNOT
DOI (Digital Object Identifier)
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2. Phénomènes physiques mis en jeu dans les composants à semi-conducteur de puissance
Le comportement des composants électriques est complexe à étudier et il est difficile d’ignorer les notions de la physique du semi-conducteur pour appréhender leur fonctionnement. En effet, leurs performances et leurs imperfections sont déterminées par les lois de cette même physique.
Les matériaux tels que le silicium (Si), le germanium (Ge), mais aussi le carbone (C), ont pour point commun de partager la proximité de la colonne du tableau périodique. Le silicium est un élément de valence 4, ce qui signifie qu’il possède 4 électrons libres sur sa dernière couche ; il est donc dit tétravalent.
Les éléments bore (B) et phosphore (P) étant situés dans les colonnes voisines, il leur est possible, lorsqu’ils sont introduits en faible proportion dans le matériau semi-conducteur, de céder un électron ou d’en capter. Le premier cas correspond à l’insertion d’une impureté de type donneur qui va enrichir le semi-conducteur en électrons libres donnant lieu à un dopage de type n. L’impureté de type donneur le plus courant est le phosphore. À l’inverse, une impureté qui va attirer à lui un électron est une impureté de type accepteur (type p) dont l’exemple le plus courant est le bore. La « lacune » qui en résulte est un porteur libre appelé « trou ». Les composants unipolaires (comme les diodes Schottky et les MOSFET) conduisent le courant à l’aide d’un seul type de porteurs (électrons ou trous), tandis que les composants bipolaires (transistor bipolaire, IGBT ou thyristor) font intervenir en même temps les deux types pendant leur phase de conduction.
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BIBLIOGRAPHIE
-
(1) - ROULSTON (D.J.) - Bipolar Semi-conductor devices. - McGraw-Hill Education (1990).
-
(2) - BALIGA (B.J.) - Power semi-conductor devices. - Springer Science & Business Media (1996).
-
(3) - NIU (S.) - Conception, optimisation et caractérisation d’un transistor à effet de champ haute tension en Carbure de Silicium. - Thèse de l’Université de Lyon (2016).
-
(4) - OUAIDA (R.), BERTHOU (M.), LÉON (J.), PERPINA (X.), OGE (S.), BROSSELARD (P.), JOUBERT (C.) - Gate Oxide Degradation of SiC MOSFET in Switching Conditions. - IEEE ELECTR DEVICE L, Vol. 35 (2014).
-
(5) - BUTTAY (C.), OUAIDA (R.), MOREL (H.), BERGOGNE (D.), RAYNAUD (C.), MOREL (F.) - Thermal Stability of Silicon Carbide Power JFETs. - IEEE Trans. On Electron. Dev., Vol. 60 (2013).
-
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DANS NOS BASES DOCUMENTAIRES
-
Caracteéristiques des composants à semi-conducteur de puissance en vue de leur commande.
-
Commande des composants à semi-conducteurs de puissance : contexte.
-
Composants – semi-conducteur de puissance : caractères propres.
-
Semi-conducteurs de puissance unipolaires et mixtes (partie 1).
-
Semi-conducteurs de puissance unipolaires et mixtes (partie 2).
ANNEXES
Analog Devices, novembre 2018, LTSpice (versions pour Windows 7, 8 et 10 et macOS 10.7 +), https://www.analog.com/en/design-center/design-tools-and-calculators/ltspice-simulator.html (Logiciel).
Synopsys, Août 2018, Sentaurus TCAD (versions pour x86_61 RHEL Enterprise (64 https://www.synopsys.com/silicon/tcad.html) (Logiciel).
Cadence , Circuit design, https://www.cadence.com/content/cadence-www/global/en_US/home/tools/custom-ic-analog-rf-design/circuit-design.html
HAUT DE PAGE
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