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1 - PHYSIQUE DU SEMI-CONDUCTEUR EN ÉLECTRONIQUE DE PUISSANCE

2 - PHÉNOMÈNES PHYSIQUES MIS EN JEU DANS LES COMPOSANTS À SEMI-CONDUCTEUR DE PUISSANCE

3 - COMPOSANTS À SEMI-CONDUCTEUR DE PUISSANCE FONDAMENTAUX

4 - COMPOSANTS DE PUISSANCE EN MATÉRIAU À LARGE BANDE INTERDITE

5 - CONCLUSION

6 - GLOSSAIRE

Article de référence | Réf : E3960 v2

Composants de puissance en matériau à large bande interdite
Introduction aux composants de microélectronique de puissance

Auteur(s) : Luong Viêt PHUNG

Date de publication : 10 juin 2019

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RÉSUMÉ

La microélectronique de puissance est une branche de la microélectronique qui s’intéresse à la conception et à la fabrication de composants à semi-conducteur destinés à des applications parfois forte tension et/ou fort courant. La microélectronique de puissance a vu pendant plusieurs dizaines d’années des technologies qui lui sont propres se développer, permettant de répondre aux exigences énergétiques de demain. Cet article présente les mécanismes physiques de quelques composants fondamentaux issus des technologies en question.

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Auteur(s)

  • Luong Viêt PHUNG : Maître de conférence des universités - Département de Génie Électrique de l’INSA de Lyon, - Chercheur au laboratoire Ampère, UMR CNRS 5005, Campus Lyon Tech-La Doua, Villeurbanne, France

INTRODUCTION

À l’aube de la transition énergétique, accélérée par la raréfaction des ressources en énergie fossile et à la prise de conscience liée aux enjeux environnementaux et écologiques, acheminer aux clients l’énergie électrique sur de longues distances à partir de multiples sources renouvelables (ou pas) imposent des défis dans la conversion de puissance où les composants actifs de puissance jouent un rôle essentiel.

L’acheminement en HVDC (courant direct, très haute tension) exige des convertisseurs dont les tensions de travail pourront avoisiner 10 kV et oblige à repenser leurs architectures. Ces convertisseurs reposent sur des interrupteurs de puissance réalisés à partir de matériaux semi-conducteurs. Leur étude relève de la microélectronique de puissance. Ayant les mêmes racines que la microélectronique de signal, la microélectonique de puissance a évolué de son côté avec le développement de ses propres technologies. Ainsi, il n’existe pas d’IGBT pour l’électronique de signal tout comme les superjonctions y ont un intérêt plus que limité.

Alors que le microélectonique de signal privilégiait la miniaturisation des composants en réduisant toujours plus la « finesse » de gravure des composants, la microélectronique de puissance, celle privilégiant l’acheminement de l’énergie électrique jusqu’aux foyers des consommateurs, a toujours recherché des composants supportant des tensions bien plus élevées (jusqu’à plusieurs milliers de volts). Le but a toujours été de parvenir au meilleur compromis entre la tension à supporter et la densité de courant admissible (jusqu’à 100 A.cm−2) en essayant de privilégier des composants verticaux qui pouvaient tirer profit de tout le volume du substrat semi-conducteur se lequel ils reposent.

Réalisés ainsi à partir de matériaux semi-conducteurs, ces composants seront toujours tributaires de leurs propriétés physiques, ce qui explique les limitations en performances telles que des tensions d’avalanche limitées par des champs électriques critiques insuffisants ou des résistances à l’état passant toujours trop élevées à cause du compromis entre l’état passant et l’état bloqué.

Cet article présente les principaux rouages des diodes bipolaires, des transistors de type bipolaire commandé en courant, puis des transistors de type MOSFET et IGBT commandés en tension. Les phénomènes d’avalanche et de conduction sont abordés en fonction de la topologie de la structure et des mécanismes qui seront mis en œuvre. Cet article se termine par un résumé sur le développement de matériaux à large bande interdite communément appelés martériaux semi-conducteurs à grand gap. Ayant des propriétés physiques en tout point supérieures à celles du silicium, les composants dits à grand gap sont déjà commercialisés, notamment ceux en carbure de silicium (SiC) et en nitrure de gallium (GaN). Le développement de ces technologies et leurs défis sont passés en revue.

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VERSIONS

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DOI (Digital Object Identifier)

https://doi.org/10.51257/a-v2-e3960


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4. Composants de puissance en matériau à large bande interdite

Le développement des sources d’énergie alternatives nécessite de repenser les réseaux électriques pour acheminer cette énergie de sources multiples vers le client, sur de longues distances. Dans cette optique, les réseaux HVDC seront amenés à se développer : les interrupteurs de puissance embarqués dans les convertisseurs doivent s’adapter à une nouvelle gamme de tension pouvant atteindre plusieurs dizaines de kV !

Le silicium n’est donc plus viable : un dopage de la zone de dérive de 1013 cm−3 pour une épaisseur d’épitaxie de 200 µm donne une résistivité de plusieurs Ω. Les tailles de puces deviennent importantes (plusieurs cm2) afin de maintenir des résistances à l’état passant acceptables.

Les matériaux à large bande interdite (wide bandgap ou grand gap), comme leur nom le laisse supposer, possède une bande interdite plus large que celle du silicium, approximativement de 3 à plus de 5 eV. Parmi eux, les plus connus sont le carbure de silicium (SiC) présent sous forme de différents polytypes (3C et 4H) et le nitrure de gallium (GaN). En effet, plusieurs fabricants de composants (Wolfspeed, Infineon, GaNsystem) commercialisent déjà des composants fabriqués à partir de l’un de ces deux matériaux. Le diamant (C) ou l’oxyde de zinc (ZnO) sont théoriquement des matériaux ayant plus de potentiel, cependant ils n’en sont qu’à leur début et ne sont absolument pas industriellement matures.

Le tableau 1  compare de manière synthétique les matériaux à large bande interdite en fonction de leurs propriétés. On peut constater que, en raison de leur largeur de bande interdite et de leur champ critique nettement supérieurs à ceux du silicium, les interrupteurs fabriqués à partir de ces matériaux auront une tension d’avalanche plus élevée à même résistance à l’état passant tout en conservant un courant de fuite...

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BIBLIOGRAPHIE

  • (1) - ROULSTON (D.J.) -   Bipolar Semi-conductor devices.  -  McGraw-Hill Education (1990).

  • (2) - BALIGA (B.J.) -   Power semi-conductor devices.  -  Springer Science & Business Media (1996).

  • (3) - NIU (S.) -   Conception, optimisation et caractérisation d’un transistor à effet de champ haute tension en Carbure de Silicium.  -  Thèse de l’Université de Lyon (2016).

  • (4) - OUAIDA (R.), BERTHOU (M.), LÉON (J.), PERPINA (X.), OGE (S.), BROSSELARD (P.), JOUBERT (C.) -   Gate Oxide Degradation of SiC MOSFET in Switching Conditions.  -  IEEE ELECTR DEVICE L, Vol. 35 (2014).

  • (5) - BUTTAY (C.), OUAIDA (R.), MOREL (H.), BERGOGNE (D.), RAYNAUD (C.), MOREL (F.) -   Thermal Stability of Silicon Carbide Power JFETs.  -  IEEE Trans. On Electron. Dev., Vol. 60 (2013).

  • (6)...

1 Outils logiciels

Analog Devices, novembre 2018, LTSpice (versions pour Windows 7, 8 et 10 et macOS 10.7 +), https://www.analog.com/en/design-center/design-tools-and-calculators/ltspice-simulator.html (Logiciel).

Synopsys, Août 2018, Sentaurus TCAD (versions pour x86_61 RHEL Enterprise (64 https://www.synopsys.com/silicon/tcad.html) (Logiciel).

Cadence , Circuit design, https://www.cadence.com/content/cadence-www/global/en_US/home/tools/custom-ic-analog-rf-design/circuit-design.html

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2 Événements

SGE (Symposium du Génie Électrique) a lieu tous les deux ans ( https://www.sge-conf.fr).

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