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EnglishRÉSUMÉ
Cet article présente les techniques capables de détecter et de modifier la polarisation ferroélectrique à l’échelle nanométrique dans les matériaux monocristallins ou déposés en couches minces, en mettant l’accent sur l’une d’entre elles : la microscopie de force piézoélectrique (PFM), dérivée de la microscopie à force atomique (AFM). La technique y est décrite en détails : ses différents modes opératoires, ses forces et ses faiblesses, ainsi que les
artefacts qui peuvent compliquer l’interprétation des données. Des conseils de bonnes pratiques sont donnés afin de permettre aux utilisateurs non spécialistes de tirer le meilleur parti de ce type de microscopie.
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Lire l’articleAuteur(s)
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Brice GAUTIER : Professeur des universités - Institut des nanotechnologies de Lyon
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David ALBERTINI : Ingénieur de recherche CNRS - Institut des nanotechnologies de Lyon
INTRODUCTION
La ferroélectricité désigne la propriété de certains matériaux de posséder une polarisation diélectrique permanente qui peut être basculée entre deux états stables par l’application d’un champ électrique extérieur. Les matériaux ferroélectriques peuvent s’organiser spontanément en domaines, c’est-à-dire en régions de polarisation uniforme. Il est également possible de créer les domaines artificiellement par l’application d’un champ électrique suffisamment important le long duquel la polarisation s’alignera. La frontière qui sépare deux domaines de polarisation différente est extrêmement fine : son épaisseur est de l’ordre du plan atomique. Les matériaux ferroélectriques sont donc des candidats très sérieux pour la réalisation de dispositifs de stockage de l’information, comme les mémoires RAM non volatiles, mais ils trouvent également des applications dans le domaine des capteurs (température, pression…), de l’optique non linéaire ou de l’électronique.
Dans ce contexte, il est crucial d’être en mesure de réaliser une cartographie de la polarisation ferroélectrique avec une résolution spatiale compatible avec les applications visées, c’est-à-dire l’échelle du nanomètre.
Cet article est consacré à la description de la technique la plus utilisée pour détecter et modifier localement la polarisation ferroélectrique avec une résolution nanométrique. Appelée « Piezoresponse Force Microscopy », elle dérive de la famille plus large des microscopies à force atomique et se fonde sur la mesure de la vibration due à l’effet piézoélectrique inverse, sous l’action d’une tension électrique imposée entre l’électrode inférieure de l’échantillon et la pointe du microscope (qui représente une électrode de taille nanométrique). Elle permet d’obtenir une cartographie de la composante verticale ou latérale de la polarisation, mais aussi de réaliser des cycles d’hystérésis locaux en arrêtant la pointe au-dessus d’une zone déterminée, et de modifier localement l’état de polarisation en appliquant des tensions continues positives ou négatives entre pointe et échantillon. Cette technique est décrite en détails ainsi que la théorie qui permet d’en comprendre le fonctionnement de manière complète. Les différents modes opératoires sont présentés. Les artefacts possibles sont également décrits et explicités, à l’exemple de l’interaction électrostatique et de la conduction ionique qui peuvent générer des signaux parasites et fausser l’interprétation des données obtenues par la technique. Des conseils de bonnes pratiques sont donnés pour tirer le meilleur parti de la méthode et éviter la sur-interprétation des résultats qu’elle fournit.
MOTS-CLÉS
microscopie à force atomique piézoélectricité ferroélectricité microscopie de force piézoélectrique polarisation diélectrique
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5. Conclusion
Le mode Piezoresponse Force Microscopy de la microscopie à force atomique reste un outil formidable de détection et de contrôle de la polarisation ferroélectrique. Comme pour toute mesure obtenue par un instrument complexe, les artefacts qui peuvent en altérer l’interprétation doivent être gardés en tête pour éviter toute surinterprétation. Il reste que la PFM représente probablement le moyen le plus rapide et le mieux résolu spatialement pour obtenir une cartographie de la polarisation en comparaison des autres techniques évoquées dans cet article. Les différentes évolutions des modes liés à la microscopie à force atomique, par exemple la possibilité de faire des mesures de courants locales (mode Conductive AFM) ou celles qui rendent possible l’enregistrement d’une courbe de résonance ou d’un cycle d’hystérésis en chaque pixel de l’image la rendent d’autant plus précieuse qu’elle peut être facilement couplée à des mesures mécaniques ou électriques qui viendront compléter la description du matériau avec la même résolution spatiale. Ceci rend une plateforme de mesure construite autour d’un AFM particulièrement attractive malgré les problèmes de quantification récurrents. C’est pour cela que la PFM s’est largement démocratisée au sein des groupes impliqués dans la croissance des ferroélectriques, leur caractérisation et leur intégration dans différents dispositifs.
Les auteurs voudraient remercier les personnes qui ont contribué à acquérir certaines des images et cycles présentés dans cet article, ou qui ont fourni les échantillons sur lesquels ces images et cycles ont été réalisés (par ordre alphabétique) : Véronique Bornand, Alexis Borowiak, Antoine Brugère, Ingrid Canero Infante, Benoît Giupponi, Sergio Gonzalez Casal, Antonin Grandfond, Wael Hourani, Thomas Maroussian, Simon Martin, Guillaume Nataf, Sylvain Pelloquin, Leonard Van Helden, Bertrand Vilquin.
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BIBLIOGRAPHIE
-
(1) - VALASEK (J.) - Piezo-Electric and Allied Phenomena in Rochelle Salt. - In: Phys. Rev., 17, p. 475-481, DOI : 10.1103/PhysRev.17.475 (4 avr. 1921).
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(2) - WHATMORE (W.R.) et al - Rapid reconstruction of a strong nonlinear property by a multiple lock-in technique. - In: Physical Review B, 85, p. 165426, DOI : 10.1063/ 5.0059208 (2012).
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(3) - KAWAI (S.) et al - 100 years of ferroelectricity : a celebration. - In: Appl. Phys. Lett. Materials, 9, p. 070401, DOI : 10.1103/PhysRevB.85.165426 (2021).
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(4) - SCOTT (J.), PAZ DE ARAUJO (C.A.) - Ferroelectric memories. - In: Science, 246.4936, p. 1400-1405, DOI : {10.1116/1.589143} (1989).
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(5) - BALLANDRAS (S.) et al - A novel surface wave transducer based on periodically poled piezoelectric domain. - In: IEEE International Frequency Control Symposium and PDA Exhibition Jointly with the 17th European Frequency and Time Forum, 2003. Proceedings of the 2003, p. 893-896, DOI : 10.1109/FREQ.2003.1275208 (2003).
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