Conclusion
Microcapteurs de pression

Les capteurs miniatures en silicium ont profondément changé le marché des capteurs de pression grâce à leurs excellentes performances obtenues pour de faibles coûts de fabrication. Développé dans les années 1960, le capteur de type piézorésistif en silicium a mis plus de trente ans pour diffuser dans tous les domaines d’activité (automobile, médical, instrumentation, environnement...). Il constitue aujourd’hui la majeure partie des capteurs de pression fabriqués dans le monde. Les capteurs de type capacitifs sont apparus à la fin des années 1970 dans les centres de recherches. Bien qu’ayant de meilleures performances, ils n’ont pas encore percé sur le marché sans doute en raison de l’inertie nécessaire à la diffusion d’un nouveau produit, mais aussi à cause de la plus grande difficulté de traitement du signal électrique qu’il délivre. À terme, les deux types de capteurs devraient coexister compte tenu de leurs avantages respectifs en fonction de l’application visée.

Le domaine des très hautes températures restera une application privilégiée des capteurs à détection piézorésistive. L’étude de nouveaux matériaux piézorésistifs comme le carbure de silicium et le diamant permettront la mesure de pression à des températures supérieures à 300 ^oC. Ce domaine présente, en effet, de nombreuses applications dans l’industrie aéronautique et automobile. Fondamentalement les capteurs à détection capacitive permettent une miniaturisation plus poussée de l’élément sensible. Ils seront ainsi incontournables pour des applications où l’encombrement et/ou la ponctualité de la mesure sont prioritaires.

L’évolution introduite par l’arrivée de capteurs de pression miniatures issus des techniques de la microélectronique est loin d’être terminée. Le mariage de la mécanique et de l’électronique a déjà permis de réaliser des capteurs « intelligents » qui intègrent des fonctions de compensation, d’autotest, de prétraitement du signal... Les recherches menées depuis une dizaine d’années dans le domaine des microcapteurs en général visent à une intégration plus poussée de fonctions plus complexes qui présentent une forte valeur ajoutée. On parle alors de microsystèmes qui comprennent des microcapteurs ainsi que des microactionneurs, le tout fonctionnant de manière intelligente...