1.1 - Unités
1.2 - Facteurs particuliers des mesures du vide
1.3 - Installation des manomètres à vide

2 - MANOMÈTRES POUR LA MESURE DES PRESSIONS TOTALES

2.1 - Manomètres mécaniques
2.2 - Manomètre de Mac Leod

Figure 3 - Manomètre capacitif Figure 4 - Manomètre de Mac Leod
2.3 - Manomètres thermiques

Figure 5 - Vacumètre à mercure Figure 6 - Manomètre à thermocouple Tableau 1 - Coefficients de correction pour les manomètres thermiques
2.4 - Manomètres à ionisation

Figure 8 - Manomètre de Penning Figure 14 - Jauge de Blechschmidt Tableau 2 - Facteurs de sensibilité pour les manomètres à ionisation
2.5 - Manomètres thermomoléculaires et moléculaires

Figure 16 - Manomètre à bille

3.1 - Analyseurs de gaz

Figure 18 - Analyseur quadripolaire
3.2 - Interprétation des mesures

Tableau 3 - Rapport m /q de quelques corps mmasse en unités de masse atomique [...] Tableau 4 - Spectre élémentaire de quelques contaminants

4 - PROBLÈMES D’ÉTALONNAGE

4.1 - Comparaison à un manomètre de Mac Leod
4.2 - Méthode d’expansion

5 - CORRECTIONS DUES À LA TEMPÉRATURE

5.1 - Effusion thermique
5.2 - Effets de la condensation

Figure 20 - Mesure avec lest d’air Tableau 5 - Coefficients d’effusion thermique en régime de Knudsen (formule )

6 - CONCLUSION

Bibliographie & annexes

Article de référence | Réf : R2050 v3

Manomètres pour la mesure des pressions totales
Mesure du vide

Auteur(s) : Denis PERRILLAT‐AMÉDÉ

Date de publication : 10 juil. 1996

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Auteur(s)

Denis PERRILLAT‐AMÉDÉ : Ingénieur ENSMM (École nationale supérieure de mécanique et des microtechniques) - Ex‐ingénieur d’études « Vide secondaire et ultravide », CIT Alcatel.

Lire cet article issu d'une ressource documentaire complète, actualisée et validée par des comités scientifiques.

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INTRODUCTION

Cet article actualise l’article précédemment rédigé par Pierre DUVAL, ancien chef du service Études‐Vide CIT‐Alcatel, dont il reprend de larges extraits.

Ce que l’on nomme couramment le vide est constitué par le domaine des atmosphères gazeuses dont la pression est inférieure à la pression atmosphérique. Il faut être bien conscient que, dès que l’on s’écarte notablement de la pression atmosphérique, « mesurer le vide » est une opération difficile : de la pression atmosphérique à l’ultra‐vide, la plage à mesurer s’étend sur 15 à 16 décades, et l’on conçoit facilement qu’il faut se résigner à utiliser plusieurs appareils de mesure de types différents pour couvrir une étendue aussi considérable.

Par souci de commodité, on découpe assez arbitrairement le domaine du vide en intervalles de pression P, auxquels on donne par convention les noms suivants :

vide primaire10²Pa < P < 10⁵Pa ;
vide moyen10 ^–1Pa < P < 10²Pa ;
vide poussé10^–5Pa < P < 10^–1Pa ;
ultra‐videP < 10^–5Pa.

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VERSIONS

Il existe d'autres versions de cet article :

Version archivée 1 de juil. 1978 par Pierre DUVAL
Version archivée 2 de avr. 1984 par Pierre DUVAL

DOI (Digital Object Identifier)

https://doi.org/10.51257/a-v3-r2050

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2. Manomètres pour la mesure des pressions totales

Les manomètres pour la mesure du vide mettent en jeu des principes physiques différents, et utilisent certaines propriétés des corps gazeux qui sont directement affectées par la pression. Ils peuvent être présentés en quatre classes principales qui sont :

les manomètres mécaniques (§ 2.1 et 2.2 ), qui mesurent la force produite par la pression, et peuvent donc être considérés comme absolus ;
les jauges à fil chaud (manomètres thermiques, § 2.3 ) ;
les manomètres électroniques à jauge à ionisation 2.4 ;
les manomètres thermomoléculaires (ou radiomé triques, § 2.5 ).

Les trois dernières familles d’appareils ne mesurent pas vraiment la pression, mais la densité moléculaire. La relation entre ces deux grandeurs est dérivée de la loi des gaz parfaits ; on a :

P = nk T

avec :

P: pression
n: concentration ou densité moléculaire
k: constante de Boltzman (1,38 · 10^–23 J/K)
T: température thermodynamique.

La figure 2 résume le domaine de mesure des principaux types de manomètres que nous...

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BIBLIOGRAPHIE

(1) - ROMMEL (G.) - Notions de base en technique du vide. - SFV Société française du vide (1995).
(2) - DUVAL (P.) - Le vide. Ses applications, son obtention. - SFV (1993).
(3) - BLANC (B.), HENRY (R.), LECLERC (J.) - Guide de l’étanchéité. - SFV (1981).
(4) - GRIGOROV (G.), KANEV (V.) - Le vide poussé au laboratoire et dans l’industrie. - (Traduit du bulgare par E. Thomas). Masson (1970).
(5) - HOLLAND (L.), STECKELMACHER (W), YARWOOD (J.) - Vacuum manual. - E. et F.N. Spon Edit. London (1974).
(6) - GASCOIGNE (J.) - Precise pressure measurement in the range 0,1‐500 torr. - Vacuum (G. B.), 21, no 1‐2, p. 21 (1971).
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NORMES

Technique du vide. Vocabulaire. Termes généraux. - X 10‐500 - 11.75
Technique du vide. Vocabulaire. Pompe à vide. - X 10‐501 - 5.76
Technique du vide. Termes et définitions. Manomètre à vide. Lexique multilingue. - X 10‐502 - 5.80
Technique du vide. Mesure de la pression dans les systèmes à vide industriels. - X 10‐520 - 11.74
Technique du vide. Manomètres. Étalonnage. Méthode par comparaison directe. - X 10‐521 - 8.76
Technique du vide. Manomètre à ionisation. Étalonnage. Méthode par comparaison directe. - X 10‐522 - 8.76
Technique du vide. Méthodes générales d’étalonnage des manomètres par les basses pressions. - X 10‐523 - 11.72
Technique du vide. Manomètres‐Étalonnage....