Bibliographie & annexes
Présentation
Auteur(s)
-
Denis PERRILLAT‐AMÉDÉ : Ingénieur ENSMM (École nationale supérieure de mécanique et des microtechniques) - Ex‐ingénieur d’études « Vide secondaire et ultravide », CIT Alcatel.
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Lire l’articleINTRODUCTION
Cet article actualise l’article précédemment rédigé par Pierre DUVAL, ancien chef du service Études‐Vide CIT‐Alcatel, dont il reprend de larges extraits.
Ce que l’on nomme couramment le vide est constitué par le domaine des atmosphères gazeuses dont la pression est inférieure à la pression atmosphérique. Il faut être bien conscient que, dès que l’on s’écarte notablement de la pression atmosphérique, « mesurer le vide » est une opération difficile : de la pression atmosphérique à l’ultra‐vide, la plage à mesurer s’étend sur 15 à 16 décades, et l’on conçoit facilement qu’il faut se résigner à utiliser plusieurs appareils de mesure de types différents pour couvrir une étendue aussi considérable.
Par souci de commodité, on découpe assez arbitrairement le domaine du vide en intervalles de pression P, auxquels on donne par convention les noms suivants :
-
vide primaire10 2Pa < P < 10 5Pa ;
-
vide moyen10 –1Pa < P < 10 2Pa ;
-
vide poussé10 –5Pa < P < 10 –1Pa ;
-
ultra‐videP < 10 –5Pa.
L'expertise technique et scientifique de référence
VERSIONS
- Version archivée 1 de juil. 1978 par Pierre DUVAL
- Version archivée 2 de avr. 1984 par Pierre DUVAL
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Conclusion5. Corrections dues à la température
Lorsque, dans une installation, la température du capteur manométrique est différente de celle du réservoir contenant le gaz à mesurer, on commet une erreur systématique qui peut être importante. Cette erreur est de nature différente selon que l’on opère avec des gaz permanents ou avec des vapeurs condensables (ou un mélange qui contient beaucoup de vapeurs condensables). Dans le premier cas, on a affaire au phénomène d’effusion thermique, dans le second cas, la perturbation est engendrée par la condensation de la vapeur.
5.1 Effusion thermique
Si l’on considère deux enceintes à des températures différentes T1 et T2 , dans lesquelles un même gaz est en régime moléculaire, on peut montrer que les pressions P1 et P 2 qui règnent dans chacun des réservoirs sont différentes. Pour simplifier, on admet que la canalisation de raccordement entre la jauge et le réservoir est assimilable à un orifice en mince paroi et l’on a alors :
En introduisant l’erreur de mesure ΔP = P2 – P1 on a encore :
La réalité est évidemment un peu plus complexe, car la canalisation est réelle, mais la correction précédente est utilisable.
Dès que, dans une installation, interviennent des surfaces refroidies à des températures cryogéniques ou des éléments portés à haute température, il est nécessaire de vérifier les effets de l’effusion thermique. Si l’on considère une enceinte à température ambiante (T1 = 300 K ) raccordée à un réservoir à la température de l’azote liquide (T2 = 77 K...
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Corrections dues à la température
BIBLIOGRAPHIE
-
(1) - ROMMEL (G.) - Notions de base en technique du vide. - SFV Société française du vide (1995).
-
(2) - DUVAL (P.) - Le vide. Ses applications, son obtention. - SFV (1993).
-
(3) - BLANC (B.), HENRY (R.), LECLERC (J.) - Guide de l’étanchéité. - SFV (1981).
-
(4) - GRIGOROV (G.), KANEV (V.) - Le vide poussé au laboratoire et dans l’industrie. - (Traduit du bulgare par E. Thomas). Masson (1970).
-
(5) - HOLLAND (L.), STECKELMACHER (W), YARWOOD (J.) - Vacuum manual. - E. et F.N. Spon Edit. London (1974).
-
(6) - GASCOIGNE (J.) - Precise pressure measurement in the range 0,1‐500 torr. - Vacuum (G. B.), 21, no 1‐2, p. 21 (1971).
-
...
NORMES
-
Technique du vide. Vocabulaire. Termes généraux. - X 10‐500 - 11.75
-
Technique du vide. Vocabulaire. Pompe à vide. - X 10‐501 - 5.76
-
Technique du vide. Termes et définitions. Manomètre à vide. Lexique multilingue. - X 10‐502 - 5.80
-
Technique du vide. Mesure de la pression dans les systèmes à vide industriels. - X 10‐520 - 11.74
-
Technique du vide. Manomètres. Étalonnage. Méthode par comparaison directe. - X 10‐521 - 8.76
-
Technique du vide. Manomètre à ionisation. Étalonnage. Méthode par comparaison directe. - X 10‐522 - 8.76
-
Technique du vide. Méthodes générales d’étalonnage des manomètres par les basses pressions. - X 10‐523 - 11.72
-
Technique du vide. Manomètres‐Étalonnage....
ANNEXES
1 Fournisseurs de manomètres à vide
(Liste non exhaustive)
Alcatel Vacuum Technology - http://www.adixen.com/
Edwards (groupe BOC) - http://www.edwards.boc.com
Galileo Vacuum Systems - http://www.galileovacuum.com/
Inficon - http://www.inficon.com
Leybold Vacuum - http://www.leyboldvac.de/france/
MKS Instruments - http://www.mksinstuments.fr
Okano Works Ltd - http://www.okanoworks.com
Pfeiffer Vacuum - http://www.pfeiffer-vacuum.com/
Quad Services
Rietschle Thomas - http://www.rietschle.fr
Teledyne - http://www.teledyne.com
Televac - http://www.televac.com
Ulvac Technologies - http://www.ulvac.com
Varian Vacuum Technologies - http://www.varianinc.com
VRC - http://www.vacuumresearchcorp.com
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