Présentation
Dépôt de films nanométriques en pulvérisation cathodique radiofréquence

Nous allons nous intéresser aux décharges basse température, basse pression. Nous nous attacherons aux spécificités des décharges excitées par des champs électriques haute fréquence qui constituent un cas très particulier de ces plasmas. On les appelle couramment décharges radiofréquence et la fréquence utilisée est souvent 13,56 MHz. Le gaz plasmagène le plus utilisé est l'argon en raison de sa neutralité chimique (gaz rare), de sa masse relativement élevée (M = 40) et de son coût modique par rapport aux autres gaz neutres.

Ces décharges basse température, basse pression, souvent appelées plasmas froids, sont caractérisées par un degré d'ionisation (n_e nombre d'électrons, n₀ nombre d'atomes) relativement faible, de l'ordre de 10⁻⁴ à 10^–5 (plus élevé si le plasma baigne dans un champ magnétique).

Dans ces conditions, les collisions électrons/neutres sont prépondérantes par rapport aux collisions électrons/électrons ou électrons/ions. Les mécanismes fondamentaux qui décrivent ces plasmas sont donc liés principalement par des interactions électrons/neutres. Les électrons, de faible masse, sont très mobiles comparés aux ions. L'énergie apportée par le champ électrique est donc préférentiellement transmise aux électrons. L'expression du facteur cinématique de collision montre que, du fait de la différence importante de masse entre les électrons et les atomes, le transfert d'énergie se fait mal lors des collisions élastiques. Il n'en est pas de même pour les collisions inélastiques car une partie de l'énergie cinétique est transférée principalement sous les deux formes suivantes.

• L'excitation :