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Patrick BOUCHAREINE : Ancien élève de l’École normale supérieure - Professeur à l’École supérieure d’optique et à l’Université Paris-Sud
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Lire l’articleINTRODUCTION
La surface d’un solide est un domaine à deux dimensions où se situent les interactions du solide avec le monde extérieur. La physique des surfaces a beaucoup progressé en cette deuxième moitié du vingtième siècle, et de nombreux domaines d’activités industrielles sont directement concernés par cette discipline. C’est à la surface d’un solide que se produisent les réactions chimiques qui la font évoluer et que se manifestent les phénomènes de frottements, d’usure, des adsorptions de contaminants divers. Depuis la métrologie des masses jusqu’au fonctionnement des paliers, depuis les états rectifiés des surfaces mécaniques jusqu’au superpoli des surfaces optiques, la métrologie des surfaces joue un rôle essentiel dans le contrôle de composants mécaniques, optiques ou électroniques.
Les propriétés d'une surface sont extraordinairement nombreuses et complexes. On cherche à les caractériser par des paramètres simples qui ne donneront bien évidemment jamais une représentation complète de ces propriétés. C'est pourquoi l'expérience est essentielle pour pouvoir déduire des observations la réponse à la question : la surface remplira-t-elle correctement ses fonctions ?
Dans la plupart des normes qui traitent des surfaces, l'examen visuel et tactile est souvent le premier cité. Quoique qualitatif, il représente souvent une synthèse de paramètres difficilement quantifiables par d'autres moyens : texture, teinte, aspects en lumières diverses, sensations mécaniques et thermiques. Comme pour un médecin qui sait voir dans une radiographie ou un scanner les éléments qui lui permettront de déterminer son diagnostic, l'expérience seule permet à un ingénieur ou à un technicien de tirer des images directes ou indirectes mises à notre disposition par l'instrumentation moderne, les conclusions sur la conformité de la surface à un cahier des charges particulier.
Nous analyserons dans cet article diverses méthodes qui permettent de caractériser les surfaces par leurs propriétés géométriques macroscopiques (forme : rectitude, planéité ou circularité), et microscopiques (rugosité). Nous décrirons quelques instruments permettant d'accéder à ces propriétés et nous en citerons d'autres comme les microscopes en champ proche ou les microscopes à force atomique.
nous ne parlerons pas de toute une catégorie d'analyses physico-chimiques des surfaces que l'on trouvera décrites en particulier dans le volume « Analyse et Caractérisation » :
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Microscopie optique ;
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Microscopies électroniques ;
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Microscopie ionique à effet de champ ;
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Analyse par émission ionique secondaire (SIMS) ;
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Spectroscopie des électrons Auger ;
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Spectroscopie de photo électrons : XPS ou ESCA et UPS.
On trouvera ailleurs une description plus complète des microscopes à effet tunnel (Techniques de l'Ingénieur, [P 895]).
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3. Écarts de forme
Deux types de formes sont essentiellement contrôlés en optique et en mécanique : les plans d’une part, les sphères et les cylindres de révolution ou tampons et bagues d’autre part. Ces formes donnent lieu à deux types de mesures : les mesures de rectitude et de planéité d’une part, les mesures de circularité d’autre part.
Les tampons et les bagues lisses utilisés comme références en mécanique donnent lieu à des mesures de circularité autour de leur axe et à des mesures de rectitude le long de leurs génératrices.
3.1 Contrôles de circularité
Les contrôles de circularité sont indispensables pour les pièces mécaniques à symétrie de révolution, en particulier pour les bagues et les tampons étalons, dont on ne mesure que quelques diamètres. La mesure de ces diamètres jointe à une étude des défauts de cir-cularité donne une connaissance beaucoup plus complète de ces étalons.
Dans une mesure de circularité, on fait tourner la pièce ou un palpeur de grande sensibilité autour d’un de ses axes de révolution, et on vérifie avec le palpeur que la cote étudiée reste constante (figure 3). Les palpeurs ont une sensibilité de l’ordre de quelques dizaines de nanomètres, mais une dynamique généralement restreinte (quelques dizaines ou centaines de micromètres). Une des difficultés de ce type de contrôle est d’assurer la coaxialité de l’axe de rotation de la machine avec l’axe de révolution de la pièce. Une des limitations à l’exactitude de ce type de mesure est la qualité de la rotation de la machine de contrôle, laquelle peut être amenée à supporter des pièces de grandes dimensions et de forte masse (quelques centaines de millimètres de diamètre, plusieurs kilogrammes ou dizaines de kilogrammes). Les paliers à air ou à huile permettent d’excellentes performances. La stabilité de la rotation est vérifiée grâce à des sphères de référence dont les défauts de sphéricité peuvent descendre au-dessous de quelques centièmes de micromètre. La sphère est en effet la forme géométrique que l’on sait le mieux approcher par usinage.
au début de ce siècle les physiciens ont réalisé des prouesses pour mesurer le volume...
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Écarts de forme
BIBLIOGRAPHIE
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(1) - CAGNET (M.), FRANÇON (M.), THRIERR (J.-C.) - Atlas de phénomènes optiques. - Springer Verlag (1962).
-
(2) - WHITEHOUSE (D.-J.) - Handbook of surface metrology. - IOP Publishing Bristol (1996).
-
(3) - MOORE (W.-R.) - The foundations of Mechanical Accuracy. - The Moore Special Tool Company, Bridgeport, Connecticut 06607 (1970).
-
(4) - MALACARA (D.) - Optical shop testing. - J. Wiley series in Pure and Applied Optics (1992).
-
(5) - SCHULTZ (G.), SCHWIDER (J.) - Interferometric testing of smooth surfaces. - Progress in Optics XIII, E. Wolf editor, Elsevier Science Publisher (1976).
-
(6) - SCHWIDER (J.) - Advanced Evaluation Techniques in Interferometry. - Progress in Optics, E. Wolf editor, Elsevier Science Publishers (1990).
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NORMES
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Spécification géométrique des produits (GPS) - État de surface : méthode du profil - Caractéristiques métrologiques des filtres à phase correcte. - NF EN ISO 11562 - Mars 1998
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Spécification géométrique des produits (GPS) - État de surface : méthode du profil - Paramètres liés aux motifs. - NF EN ISO 12085 - Mars 1998
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Spécification géométrique des produits (GPS) - État de surface : méthode du profil - Étalonnage des instruments à contact (palpeur). - NF EN ISO 12179 - Mai 2000
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Spécification géométrique des produits (GPS) - Indication des états de surface dans la documentation technique de produits. - NF EN ISO 1302 - Avril 2002
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Spécification géométrique des produits (GPS) - État de surface : méthode du profil - Caractéristiques nominales des appareils à contact (palpeur). - NF EN ISO 3274 - Mars 1998
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Spécification géométrique des produits (GPS) - État de surface : méthode du profil - Termes, définitions et paramètres d’état de surface. - NF...
ANNEXES
(liste non exhaustive)
ADE Phase Shift http://www.phase-shift.com
EXFO Burleigh http://www.exfo.com
FEI Company http://www.feicompany.com
Mahr http://www.mahr.de
Renishaw http://www.renishaw.com
Solarius Inc. http://www.solarius-inc.com
Taylor Hobson http://www.taylor-hobson.com
Tesa Technology http://www.tesabs.ch
Veeco http://www.veeco.com
Zeiss http://www.zeiss.com
Zygo http://www.zygo.com
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