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Patrick BOUCHAREINE : Ancien élève de l’École normale supérieure - Professeur à l’École supérieure d’optique et à l’Université Paris-Sud
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Lire l’articleINTRODUCTION
La surface d’un solide est un domaine à deux dimensions où se situent les interactions du solide avec le monde extérieur. La physique des surfaces a beaucoup progressé en cette deuxième moitié du vingtième siècle, et de nombreux domaines d’activités industrielles sont directement concernés par cette discipline. C’est à la surface d’un solide que se produisent les réactions chimiques qui la font évoluer et que se manifestent les phénomènes de frottements, d’usure, des adsorptions de contaminants divers. Depuis la métrologie des masses jusqu’au fonctionnement des paliers, depuis les états rectifiés des surfaces mécaniques jusqu’au superpoli des surfaces optiques, la métrologie des surfaces joue un rôle essentiel dans le contrôle de composants mécaniques, optiques ou électroniques.
Les propriétés d'une surface sont extraordinairement nombreuses et complexes. On cherche à les caractériser par des paramètres simples qui ne donneront bien évidemment jamais une représentation complète de ces propriétés. C'est pourquoi l'expérience est essentielle pour pouvoir déduire des observations la réponse à la question : la surface remplira-t-elle correctement ses fonctions ?
Dans la plupart des normes qui traitent des surfaces, l'examen visuel et tactile est souvent le premier cité. Quoique qualitatif, il représente souvent une synthèse de paramètres difficilement quantifiables par d'autres moyens : texture, teinte, aspects en lumières diverses, sensations mécaniques et thermiques. Comme pour un médecin qui sait voir dans une radiographie ou un scanner les éléments qui lui permettront de déterminer son diagnostic, l'expérience seule permet à un ingénieur ou à un technicien de tirer des images directes ou indirectes mises à notre disposition par l'instrumentation moderne, les conclusions sur la conformité de la surface à un cahier des charges particulier.
Nous analyserons dans cet article diverses méthodes qui permettent de caractériser les surfaces par leurs propriétés géométriques macroscopiques (forme : rectitude, planéité ou circularité), et microscopiques (rugosité). Nous décrirons quelques instruments permettant d'accéder à ces propriétés et nous en citerons d'autres comme les microscopes en champ proche ou les microscopes à force atomique.
nous ne parlerons pas de toute une catégorie d'analyses physico-chimiques des surfaces que l'on trouvera décrites en particulier dans le volume « Analyse et Caractérisation » :
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Microscopie optique ;
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Microscopies électroniques ;
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Microscopie ionique à effet de champ ;
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Analyse par émission ionique secondaire (SIMS) ;
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Spectroscopie des électrons Auger ;
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Spectroscopie de photo électrons : XPS ou ESCA et UPS.
On trouvera ailleurs une description plus complète des microscopes à effet tunnel (Techniques de l'Ingénieur, [P 895]).
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5. Rugosité
On désigne par rugosité les aspérités et les creux d’une surface mesurés par rapport à la surface moyenne assimilée localement à un plan. La caractérisation géométrique de ce paramètre est délicate parce qu’il s’agit d’un paramètre statistique qui ne peut être défini par une seule mesure, et parce qu’il s’agit d’une variable dépendant de deux dimensions, en général analysée suivant une seule dimension.
Comme tout paramètre statistique, son évaluation sera d’autant plus sûre qu’elle sera faite sur un domaine étendu, mais on se heurte alors aux défauts de forme de la surface qui ne permettent plus d’assimiler la surface moyenne à un plan. La norme internationale ISO 4287 actuellement soumise à enquête probatoire définit les différents paramètres permettant de caractériser la rugosité d’une surface. Sans être exhaustifs, rappelons que ce sont les hauteurs des saillies et les profondeurs des creux, les largeurs des éléments du profil qui sont une image très simplifiée du spectre des fréquences spatiales...
5.1 Paramètres de rugosité
La hauteur maximale du profil peut être mesurée sur le profil de surface (Pz), sur le profil de rugosité (R z) ou sur le profil d’ondulation (Wz). Il en est de même pour la hauteur totale, somme de la plus grande hauteur et de la plus grande profondeur Pt , R t ou Wt. Mais les paramètres les plus significatifs sont des moyennes arithmétiques (Pa, Ra, Wa) de l’écart à la surface de référence ou les moyennes quadratiques (Pq, Rq, Wq) de z (x ).
Dans l’étude de ce paramètre spatial, c’est en fait la distribution des amplitudes des défauts en fonction de leur période qu’il faut caractériser et, tout comme pour les mesures de bruit, c’est la largeur de bande des fréquences spatiales prises en compte qui caractérise la microgéométrie d’une surface. Dans les intercomparaisons, c’est la définition de ces spectres de fréquences spatiales observables qu’il est difficile de préciser.
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Rugosité
BIBLIOGRAPHIE
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(1) - CAGNET (M.), FRANÇON (M.), THRIERR (J.-C.) - Atlas de phénomènes optiques. - Springer Verlag (1962).
-
(2) - WHITEHOUSE (D.-J.) - Handbook of surface metrology. - IOP Publishing Bristol (1996).
-
(3) - MOORE (W.-R.) - The foundations of Mechanical Accuracy. - The Moore Special Tool Company, Bridgeport, Connecticut 06607 (1970).
-
(4) - MALACARA (D.) - Optical shop testing. - J. Wiley series in Pure and Applied Optics (1992).
-
(5) - SCHULTZ (G.), SCHWIDER (J.) - Interferometric testing of smooth surfaces. - Progress in Optics XIII, E. Wolf editor, Elsevier Science Publisher (1976).
-
(6) - SCHWIDER (J.) - Advanced Evaluation Techniques in Interferometry. - Progress in Optics, E. Wolf editor, Elsevier Science Publishers (1990).
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NORMES
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Spécification géométrique des produits (GPS) - État de surface : méthode du profil - Caractéristiques métrologiques des filtres à phase correcte. - NF EN ISO 11562 - Mars 1998
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Spécification géométrique des produits (GPS) - État de surface : méthode du profil - Paramètres liés aux motifs. - NF EN ISO 12085 - Mars 1998
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Spécification géométrique des produits (GPS) - État de surface : méthode du profil - Étalonnage des instruments à contact (palpeur). - NF EN ISO 12179 - Mai 2000
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Spécification géométrique des produits (GPS) - Indication des états de surface dans la documentation technique de produits. - NF EN ISO 1302 - Avril 2002
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Spécification géométrique des produits (GPS) - État de surface : méthode du profil - Caractéristiques nominales des appareils à contact (palpeur). - NF EN ISO 3274 - Mars 1998
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Spécification géométrique des produits (GPS) - État de surface : méthode du profil - Termes, définitions et paramètres d’état de surface. - NF...
ANNEXES
(liste non exhaustive)
ADE Phase Shift http://www.phase-shift.com
EXFO Burleigh http://www.exfo.com
FEI Company http://www.feicompany.com
Mahr http://www.mahr.de
Renishaw http://www.renishaw.com
Solarius Inc. http://www.solarius-inc.com
Taylor Hobson http://www.taylor-hobson.com
Tesa Technology http://www.tesabs.ch
Veeco http://www.veeco.com
Zeiss http://www.zeiss.com
Zygo http://www.zygo.com
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