Article de référence | Réf : B4110 v1

Correspondance des unités de mesure du vide
Gaz à très basse pression - Formules et tables

Auteur(s) : Guy ROMMEL

Date de publication : 10 août 1985

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Auteur(s)

  • Guy ROMMEL : Ingénieur de l’École Supérieure d’Électricité - Ingénieur au Commissariat à l’Énergie Atomique, Grand Accélérateur National à Ions Lourds (GANIL)

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INTRODUCTION

Dans cet article, nous exposerons les différentes formules et tables utilisées dans les techniques du vide.

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DOI (Digital Object Identifier)

https://doi.org/10.51257/a-v1-b4110


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1. Correspondance des unités de mesure du vide

La figure 1 représente les correspondances des unités utilisées pour les mesures de pression, de taux de désorption et de flux gazeux.

Le tableau 1 donne une correspondance des différentes unités de flux gazeux.

Soit une surface de 1 m2 ayant un taux de désorption de 10–10 Torr · L / s · cm2 pompée par une pompe de débit-volume q v de 1 000 L / s.

Le flux gazeux est de :

qG = qGUS = 10–10 × 104 = 10–6 Torr · L / s

ou

qG = (1 330 × 10–10 ) × 1 = 1,3 × 10–7 Pa · m3 / s

La pression obtenue est :

ou

Nota :

1 Pa = 1 N / m2 , 10 5 Pa = 1 bar et 1 Torr = 133 Pa.

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BIBLIOGRAPHIE

  • (1) - ROTH (A.) -   Vacuum technology.  -  1er éd. Amsterdam, North-Holland Publishing Company (1976).

  • (2) - DUSHMAN (S.), LAFFERTY (J.M.) -   Scientific foundations of vacuum technique.  -  806 p., 2e éd. New York, Wiley and Sons (1962).

  • (3) -   Handbook of chemistry and physics.  -  CRC (1977-1978).

  • (4) - HÖNIG (R.E.), HOOK (H.O.) -   Vapor pressure data for some common gases. (Diagrammes de pression de vapeur de quelques gaz courants).  -  RCA, rev., p. 360-8, sept. 1960.

  • (5) - HENRY (R.P.) -   Cours de science et technique du vide.  -  p. 106, Paris, Soc. franc. Vide (1971).

  • (6) -   Quadrupole mass spectometer operating instructions.  -  GA 752. Quadruvac Q 100. Leybold Heraeus Sogev.

  • ...

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