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Guy ROMMEL : Ingénieur de l’École Supérieure d’Électricité - Ingénieur au Commissariat à l’Énergie Atomique, Grand Accélérateur National à Ions Lourds (GANIL)
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Dans cet article, nous exposerons les différentes formules et tables utilisées dans les techniques du vide.
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1. Correspondance des unités de mesure du vide
La figure 1 représente les correspondances des unités utilisées pour les mesures de pression, de taux de désorption et de flux gazeux.
Le tableau 1 donne une correspondance des différentes unités de flux gazeux.
Soit une surface de 1 m2 ayant un taux de désorption de 10–10 Torr · L / s · cm2 pompée par une pompe de débit-volume q v de 1 000 L / s.
Le flux gazeux est de :
ou
La pression obtenue est :
ou
1 Pa = 1 N / m2 , 10 5 Pa = 1 bar et 1 Torr = 133 Pa.
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Correspondance des unités de mesure du vide
BIBLIOGRAPHIE
-
(1) - ROTH (A.) - Vacuum technology. - 1er éd. Amsterdam, North-Holland Publishing Company (1976).
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(2) - DUSHMAN (S.), LAFFERTY (J.M.) - Scientific foundations of vacuum technique. - 806 p., 2e éd. New York, Wiley and Sons (1962).
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(3) - Handbook of chemistry and physics. - CRC (1977-1978).
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(4) - HÖNIG (R.E.), HOOK (H.O.) - Vapor pressure data for some common gases. (Diagrammes de pression de vapeur de quelques gaz courants). - RCA, rev., p. 360-8, sept. 1960.
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(5) - HENRY (R.P.) - Cours de science et technique du vide. - p. 106, Paris, Soc. franc. Vide (1971).
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(6) - Quadrupole mass spectometer operating instructions. - GA 752. Quadruvac Q 100. Leybold Heraeus Sogev.
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