Bibliographie & annexes
Présentation
En anglais
RÉSUMÉ
L’exploitation de nanosources pour photostructurer la matière de façon contrôlée avec une résolution très inférieure à la longueur d’onde de la lumière, ouvre la voie à une approche prometteuse de nanolithographie utilisant les photons comme vecteurs d’écriture. Les applications visées vont bien au-delà du domaine de la microélectronique puisqu’elles concernent aussi bien le stockage optique haute densité que la manipulation de molécules.
Lire cet article issu d'une ressource documentaire complète, actualisée et validée par des comités scientifiques.
Lire l’articleABSTRACT
The use of nano-sources to induce a photostructure transformation of matter in a controlled manner, with a resolution much lower than the wavelength of light, paves the way for a promising approach to nanolithography which uses photons as a writing medium. The targeted applications go well beyond the field of microelectronics since they involve both high-density optical storage and molecular manipulation.
Auteur(s)
INTRODUCTION
L'exploitation de nanosources pour photostructurer la matière de façon contrôlée avec une résolution très inférieure à la longueur d'onde de la lumière, ouvre la voie à une approche prometteuse de nanolithographie utilisant les photons comme vecteurs d'écriture.
L'expertise technique et scientifique de référence
DOI (Digital Object Identifier)
CET ARTICLE SE TROUVE ÉGALEMENT DANS :
Accueil > Ressources documentaires > Sciences fondamentales > Nanosciences et nanotechnologies > Nanomatériaux : synthèse et élaboration > Nanophotolithographie en champ proche > Conclusion
Accueil > Ressources documentaires > Électronique - Photonique > Optique Photonique > Nano-optique > Nanophotolithographie en champ proche > Conclusion
Cet article fait partie de l’offre
Nanosciences et nanotechnologies
(150 articles en ce moment)
Cette offre vous donne accès à :
Une base complète d’articles
Actualisée et enrichie d’articles validés par nos comités scientifiques
Des services
Un ensemble d'outils exclusifs en complément des ressources
Un Parcours Pratique
Opérationnel et didactique, pour garantir l'acquisition des compétences transverses
Doc & Quiz
Des articles interactifs avec des quiz, pour une lecture constructive
Présentation
Contexte
En anglais
5. Conclusion
À travers de nombreux exemples, nous avons vu qu'il était possible de photostructurer la matière à une échelle nanométrique non limitée par la longueur d'onde de la lumière. Les processus d'interaction entre la lumière et la matière sont à cette échelle très nombreux et impliquent souvent des effets thermiques locaux. Ce domaine très récent (la plupart des articles cités dans ce dossier datent de moins de 10 ans) a permis de progresser considérablement dans la connaissance des matériaux et dans la mise au point de nanosources optiques performantes. Réciproquement, les progrès rapides de la nano-optique permettent de développer des nanosources adaptées à la nanophotostructuration. Les objectifs de nanophotolithographie en champ proche ne doivent pas être vus comme concurrentiels de ceux de l'ITRS qui a privilégié la diminution de la longueur d'onde. Il s'agit plutôt d'une approche complémentaire appréciée par son faible coût et sa facilité de mise en œuvre. En particulier, la lumière visible et son état de polarisation peuvent être exploités. Par ailleurs, les applications visées vont bien au-delà du domaine de la microélectronique puisqu'elles concernent aussi bien le stockage optique haute densité que la manipulation de molécules. La lithographie optique en champ proche pourrait aussi être utilisée comme un des maillons d'une chaîne complexe de nanostructuration. Par exemple, le moule, ou « timbre » utilisé en nanoimprint pourrait être fabriqué par lithographie optique en champ proche. Le futur de cette méthode est sans doute très prometteur. Concernant l'approche « pointe », on sait que l'on peut maîtriser le travail simultané de centaines de pointes disposées en matrice ...
L'expertise technique et scientifique de référence
Cet article fait partie de l’offre
Nanosciences et nanotechnologies
(150 articles en ce moment)
Cette offre vous donne accès à :
Une base complète d’articles
Actualisée et enrichie d’articles validés par nos comités scientifiques
Des services
Un ensemble d'outils exclusifs en complément des ressources
Un Parcours Pratique
Opérationnel et didactique, pour garantir l'acquisition des compétences transverses
Doc & Quiz
Des articles interactifs avec des quiz, pour une lecture constructive
Conclusion
BIBLIOGRAPHIE
-
(1) - Bulletin MRS (Materials Research Society) - Fabrication of sub-45 nm structures for the next generation of devices. - Vol. 30, n˚ 12, déc. 2005.
-
(2) - RONSE (K.) - Optical lithography – a historical perspective. - C. R. Physique, doi : 10.1016/j.chry.2006.10.007 (2006).
-
(3) - SWITKES (M.), ROTHSCHILD (M.), KUNZ (R.R.), BAEK (S.-Y.), COLES (D.), YEUNG (M.) - Immersion lithography : Beyond the 65 nm node with optics. - Microlithography World, p. 4, mai 2003.
-
(4) - COURJON (D.) - Near-field microscopy and near-field optics. - Imperial College Press, Londre (2003).
-
(5) - NOVOTNY (L.), HECHT (B.) - Principles of Nanooptics. - Cambridge Press (2007).
-
(6) - LOURTIOZ (J.M.), TCHELNOKOV (A.) - Nanophotonique et Micro-Nanotechnologies. - Techniques de l'ingénieur. Nanotechnologies...
L'expertise technique et scientifique de référence
Cet article fait partie de l’offre
Nanosciences et nanotechnologies
(150 articles en ce moment)
Cette offre vous donne accès à :
Une base complète d’articles
Actualisée et enrichie d’articles validés par nos comités scientifiques
Des services
Un ensemble d'outils exclusifs en complément des ressources
Un Parcours Pratique
Opérationnel et didactique, pour garantir l'acquisition des compétences transverses
Doc & Quiz
Des articles interactifs avec des quiz, pour une lecture constructive
