Présentation
En anglaisAuteur(s)
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Gilles Amendola : Enseignant chercheur à ESIEE Engineering
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Patrick Poulichet : Enseignant chercheur à ESIEE Engineering
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Laure Sevely : Enseignant chercheur à ESIEE Engineering
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Laurie Valbin : Enseignant chercheur à ESIEE Engineering
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Lire l’articleINTRODUCTION
Après avoir exposé dans le premier article (article [R 430]) les technologies de fabrication, les principaux effets rencontrés et les traitements électroniques associés, le but de ce 2e article est d’exposer les techniques utilisées et leur réalisation industrielle (ou expérimentale) dans les principaux types de mesures ; ainsi, les méthodes utilisées pour les mesures de pression, accélération, vitesse angulaire, courant, détection d’agents chimiques, etc. seront développées.
Rappelons au lecteur qui n’aurait pas lu [R 430] que nous définissons par « microsystèmes » des systèmes à base de microtechnologie qui associent des principes mécaniques, électriques, optiques, chimiques, etc. et l’électronique de traitement. Le terme « MEMS » est utilisé pour des microsystèmes basés sur des principes électriques et mécaniques et les microcapteurs (ou capteurs MEMS) sont des microsystèmes dédiés à la détection ou à la mesure de grandeurs physiques.
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4. Conclusion
Dans ce chapitre, nous avons décrit les méthodes utilisées par les capteurs d’accélération, de rotation, de pression, acoustiques, chimiques et magnétiques. Nous avons également détaillé quelques exemples de réalisations industrielles (commercialisées avant 2010) en donnant les principales caractéristiques des capteurs. Dans le but de brosser le tableau des prochaines années, des travaux de recherche, ainsi que des perspectives pour les microcapteurs ont été présentés.
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BIBLIOGRAPHIE
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