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RÉSUMÉ
Afin de répondre aux nouveaux défis face à la réduction de la taille des composants, circuits et systèmes, les micro-nanotechnologies sont désormais un des axes prioritaires de la recherche. Cet article propose ainsi une explication du cahier des charges de la centrale de micro-nanotechnologie universitaire IEF-MINERVE, qui fait partie du réseau technologique de base (RTB). Dans un premier temps, une description de la centrale est proposée : conception, procédés technologiques et équipements de la centrale. Ensuite, quelques projets de micro-nanotechnologie de la centrale IEF-MINERVE sont exposés, notamment sur le nanodispositif magnétique à ancrage de parois de domaine.
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Lire l’articleINTRODUCTION
Les micro-nanotechnologies constituent aujourd'hui un des axes prioritaires de recherche en France et de par le monde. Il s'agit en effet de répondre aux nouveaux défis que pose la réduction de taille des composants, circuits et systèmes à des échelles qui côtoient le nanomètre (le millionième de millimètre). Cette course à la miniaturisation et à la densification de l'information suppose aussi un croisement fertile entre des disciplines scientifiques très diverses que l'on regroupe sous le vocable de « nanosciences ». Pour faire face aux défis ainsi posés à la recherche scientifique, la France se dote aujourd'hui d'un réseau de grandes centrales de micro-nanotechnologie, encore appelé réseau technologique de base (RTB). La centrale universitaire IEF-MINERVE, inaugurée sur le campus d'Orsay le 24 novembre 2004, fait partie de ce réseau. Le présent dossier a pour but d'illustrer, à travers les objectifs spécifiques de cette centrale, le cahier des charges techniques et les moyens à mettre en œuvre pour rendre opérationnelle une centrale de micro-nanotechnologie à vocation nationale.
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BIBLIOGRAPHIE
-
(1) - FEYNMAN (R.) - There's plenty of room at the bottom. - Eng. Sci. 23, p. 22-36 (1960) : voir aussi le site : http://www.zyvex.com/nanotech/feynman.html
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(2) - WHYTE (W.) - Les technologies de Salle Propre, Principes de conception, de qualification, d'exploitation. - SB.COM Éditeur, ISBN 2-9517425-4-1, 1re édition (2003).
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(3) - Guide de l'Ultra-Propreté. - 5e édition. BCMI SA – Bureau pour la Connaissance des Marchés Industriels – Études et conseils (2005).
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(4) - DE LABACHELERIE (M.) - Techniques de fabrication des microsystèmes. - Hermes, Lavoisier (2004).
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(5) - DUPAS (C.), HOUDI (P.), LAHMANI (H.) - Les nanosciences. - Belin (2004).
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(6) - CHRISEY (D.B.), HUBLER (G.K.) (éditeurs) - Pulsed laser deposition of thin films. - ...
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