Bibliographie & annexes
Présentation
RÉSUMÉ
Afin de répondre aux nouveaux défis face à la réduction de la taille des composants, circuits et systèmes, les micro-nanotechnologies sont désormais un des axes prioritaires de la recherche. Cet article propose ainsi une explication du cahier des charges de la centrale de micro-nanotechnologie universitaire IEF-MINERVE, qui fait partie du réseau technologique de base (RTB). Dans un premier temps, une description de la centrale est proposée : conception, procédés technologiques et équipements de la centrale. Ensuite, quelques projets de micro-nanotechnologie de la centrale IEF-MINERVE sont exposés, notamment sur le nanodispositif magnétique à ancrage de parois de domaine.
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In order to meet the new challenges induced by the reduction of the size of components, circuits and systems, micro-nanotechnologies have become a priority axis of research. This article thus explains the specifications of the university center IEF-MINERVE for micro-nanotechnology, which belongs to the French basic technological network. A description of the center including its design, technological processes and equipment is firstly offered. Certain micro-nanotechnology projects of the IEF-MINERVE center are then presented, notably concerning the magnetic nanodevice with domain wall pinning.
INTRODUCTION
Les micro-nanotechnologies constituent aujourd'hui un des axes prioritaires de recherche en France et de par le monde. Il s'agit en effet de répondre aux nouveaux défis que pose la réduction de taille des composants, circuits et systèmes à des échelles qui côtoient le nanomètre (le millionième de millimètre). Cette course à la miniaturisation et à la densification de l'information suppose aussi un croisement fertile entre des disciplines scientifiques très diverses que l'on regroupe sous le vocable de « nanosciences ». Pour faire face aux défis ainsi posés à la recherche scientifique, la France se dote aujourd'hui d'un réseau de grandes centrales de micro-nanotechnologie, encore appelé réseau technologique de base (RTB). La centrale universitaire IEF-MINERVE, inaugurée sur le campus d'Orsay le 24 novembre 2004, fait partie de ce réseau. Le présent dossier a pour but d'illustrer, à travers les objectifs spécifiques de cette centrale, le cahier des charges techniques et les moyens à mettre en œuvre pour rendre opérationnelle une centrale de micro-nanotechnologie à vocation nationale.
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Introduction4. Conclusions et perspectives
La présentation de la centrale IEF-MINERVE et de quelques-unes de ses réalisations a permis d'illustrer la diversité, voire même, la complexité des moyens à mettre en œuvre pour faire fonctionner une centrale de micro-nanotechnologie et élaborer des composants à des échelles (sub)-micrométriques. De nombreux aspects n'ont d'ailleurs pu être qu'effleurés comme, par exemple, tout ce qui concerne l'approche bottom-up (des atomes vers les nanostructures, figure 1) ; la croissance d'îlots quantiques Ge/Si rapportée dans la figure 13 participe de cette approche. Cette complexité de moyens, qui pourrait sembler paradoxale dès lors que les objets à traiter sont de moindre dimension, tient simplement au fait que, en même temps, la précision (ou la résolution) requise va croissant et qu'il est alors nécessaire de disposer d'outils d'élaboration, d'analyse et de caractérisation de plus en plus sophistiqués.
Même si dans les domaines des microsystèmes et des nanosciences une partie de la recherche et de l'innovation se fera toujours au sein d'équipes avec un nombre limité d'équipements dédiés, les laboratoires possédant des grandes centrales technologiques de recherche apparaissent aujourd'hui comme des éléments indispensables de compétitivité pour le développement économique par les transferts de propriété intellectuelle et de savoir-faire qu'ils assureront vers les grandes entreprises ou les « start-up ». Comme le montre déjà l'utilisation de nanoparticules pour améliorer l'adhérence des pneus des véhicules automobiles ou pour diversifier les cosmétiques et en réduire le coût de production, ces transferts ne sont pas réservés à l'industrie de l'électronique. Ce ne sont pas encore les applications qui font rêver le grand public, comme les nanorobots voyageant dans nos artères pour y éliminer les plaques de cholestérol ou les nanomachines autorépliquantes capables de construire n'importe quelle structure, molécule par molécule, mais il existe néanmoins des projets remarquables qui...
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Conclusions et perspectives
BIBLIOGRAPHIE
-
(1) - FEYNMAN (R.) - There's plenty of room at the bottom. - Eng. Sci. 23, p. 22-36 (1960) : voir aussi le site : http://www.zyvex.com/nanotech/feynman.html
-
(2) - WHYTE (W.) - Les technologies de Salle Propre, Principes de conception, de qualification, d'exploitation. - SB.COM Éditeur, ISBN 2-9517425-4-1, 1re édition (2003).
-
(3) - Guide de l'Ultra-Propreté. - 5e édition. BCMI SA – Bureau pour la Connaissance des Marchés Industriels – Études et conseils (2005).
-
(4) - DE LABACHELERIE (M.) - Techniques de fabrication des microsystèmes. - Hermes, Lavoisier (2004).
-
(5) - DUPAS (C.), HOUDI (P.), LAHMANI (H.) - Les nanosciences. - Belin (2004).
-
(6) - CHRISEY (D.B.), HUBLER (G.K.) (éditeurs) - Pulsed laser deposition of thin films. - ...
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