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-
Philippe COLOMBAN
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La microspectrométrie Raman peut imager in situ l’état des contraintes mécaniques et les propriétés physico-chimiques de matériaux ou de dispositifs hétérogènes. L’optimisation, le dimensionnement et la compréhension du vieillissement de ces systèmes sont ainsi facilités.
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- Version courante de août 2013 par Philippe COLOMBAN
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Principe4. Conclusion
Les principaux handicaps des spectromètres Raman disparaissent. La durée d’acquisition, hier encore d’une dizaine d’heures pour l’analyse d’une surface de quelques dizaines de points de mesure de côté, a été fortement réduite et les progrès des micro-ordinateurs permettent de développer des outils efficaces d’extraction des paramètres pertinents. La réalisation d’images calculées, construites à partir de chaque point de mesure, n’a plus rien à voir avec les tentatives d’imagerie optique « directe » des années 1980. Les données de calibration deviennent disponibles pour de nombreuses phases, ce qui allège le travail nécessaire pour passer d’une image qualitative à une mesure quantitative. On peut penser que de plus en plus de systèmes pourront être étudiés in situ, soit en mode statique, soit selon des séquences dynamiques. Les exemples utilisés ne sont pas exclusifs.
De nombreux exemples en microélectronique sont cités dans le numéro spécial du Journal of Raman Spectroscopy, 30 (10), 1999, intitulé « Special Issue on Raman Micro-Spectrometry of Materials ».
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BIBLIOGRAPHIE
-
(1) - BEYERLEIN (L.J.), AMER (M.S.), SCHADLER (L.S.), PHOENIX (S.L.) - New Methodology for Determining in-situ Fibre, Matrix and Interfaces Stresses in Damaged Multifiber Composites - . Science and Engineering Composites Materials, 7 (1-2), 151-204, 1998.
-
(2) - COLOMBAN (Ph.), CORSET (J.) - Special Issue on Raman micro-Spectrometry of Materials - . J. Raman Spectroscopy, 30 (10), 1999.
-
(3) - COLOMBAN (Ph.) - La Micro-spectrométrie Raman, outil d’analyse des composites et multimatériaux – État de l’art et perspectives - . Compte-Rendus des Douzièmes Journées Nationales des Composites (JNC-12), Cachan, 15-17 nov., vol. 1, 501-510, AMAC, Paris.
-
(4) - DE WOLF (I.) - Stress Measurements in Si Microelectronics Devices using Raman Spectroscopy - . J. Raman Spectroscopy, 30 (10), 877-883, 1999.
-
(5) - GOUADEC (G.), COLOMBAN (Ph.), BANSAL (N.P.) - Raman study of Hi-Nicalon-Fiber-Reinforced Celsian Composites. I : Distribution and Nanostructure of Different Phases. II : Residual Stress in Fibers - . J. Am. Ceram. Soc., 84 (5), 1129-35, 1136-42, 2001.
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