1.1 - Unités
1.2 - Facteurs particuliers des mesures du vide
1.3 - Installation des manomètres à vide

2 - MANOMÈTRES POUR LA MESURE DES PRESSIONS TOTALES

2.1 - Manomètres mécaniques
2.2 - Manomètre de Mac Leod

Figure 3 - Manomètre capacitif Figure 4 - Manomètre de Mac Leod
2.3 - Manomètres thermiques

Figure 5 - Vacumètre à mercure Figure 6 - Manomètre à thermocouple Tableau 1 - Coefficients de correction pour les manomètres thermiques
2.4 - Manomètres à ionisation

Figure 8 - Manomètre de Penning Figure 14 - Jauge de Blechschmidt Tableau 2 - Facteurs de sensibilité pour les manomètres à ionisation
2.5 - Manomètres thermomoléculaires et moléculaires

Figure 16 - Manomètre à bille

3.1 - Analyseurs de gaz

Figure 18 - Analyseur quadripolaire
3.2 - Interprétation des mesures

Tableau 3 - Rapport m /q de quelques corps mmasse en unités de masse atomique [...] Tableau 4 - Spectre élémentaire de quelques contaminants

4 - PROBLÈMES D’ÉTALONNAGE

4.1 - Comparaison à un manomètre de Mac Leod
4.2 - Méthode d’expansion

5 - CORRECTIONS DUES À LA TEMPÉRATURE

5.1 - Effusion thermique
5.2 - Effets de la condensation

Figure 20 - Mesure avec lest d’air Tableau 5 - Coefficients d’effusion thermique en régime de Knudsen (formule )

6 - CONCLUSION

Bibliographie & annexes

Article de référence | Réf : R2050 v3

Mesure du vide

Auteur(s) : Denis PERRILLAT‐AMÉDÉ

Date de publication : 10 juil. 1996

Pour explorer cet article
Télécharger l'extrait gratuit

Vous êtes déjà abonné ?Connectez-vous !

Présentation

Auteur(s)

Denis PERRILLAT‐AMÉDÉ : Ingénieur ENSMM (École nationale supérieure de mécanique et des microtechniques) - Ex‐ingénieur d’études « Vide secondaire et ultravide », CIT Alcatel.

Lire cet article issu d'une ressource documentaire complète, actualisée et validée par des comités scientifiques.

Lire l’article

INTRODUCTION

Cet article actualise l’article précédemment rédigé par Pierre DUVAL, ancien chef du service Études‐Vide CIT‐Alcatel, dont il reprend de larges extraits.

Ce que l’on nomme couramment le vide est constitué par le domaine des atmosphères gazeuses dont la pression est inférieure à la pression atmosphérique. Il faut être bien conscient que, dès que l’on s’écarte notablement de la pression atmosphérique, « mesurer le vide » est une opération difficile : de la pression atmosphérique à l’ultra‐vide, la plage à mesurer s’étend sur 15 à 16 décades, et l’on conçoit facilement qu’il faut se résigner à utiliser plusieurs appareils de mesure de types différents pour couvrir une étendue aussi considérable.

Par souci de commodité, on découpe assez arbitrairement le domaine du vide en intervalles de pression P, auxquels on donne par convention les noms suivants :

vide primaire10²Pa < P < 10⁵Pa ;
vide moyen10 ^–1Pa < P < 10²Pa ;
vide poussé10^–5Pa < P < 10^–1Pa ;
ultra‐videP < 10^–5Pa.

Cet article est réservé aux abonnés.
Il vous reste 94% à découvrir.

Pour explorer cet article
Téléchargez l'extrait gratuit

Vous êtes déjà abonné ?Connectez-vous !

L'expertise technique et scientifique de référence

La plus importante ressource documentaire technique et scientifique en langue française, avec + de 1 200 auteurs et 100 conseillers scientifiques.

+ de 10 000 articles et 1 000 fiches pratiques opérationnelles, + de 800 articles nouveaux ou mis à jours chaque année.

De la conception au prototypage, jusqu'à l'industrialisation, la référence pour sécuriser le développement de vos projets industriels.

VERSIONS

Il existe d'autres versions de cet article :

Version archivée 1 de juil. 1978 par Pierre DUVAL
Version archivée 2 de avr. 1984 par Pierre DUVAL

DOI (Digital Object Identifier)

https://doi.org/10.51257/a-v3-r2050

Cet article fait partie de l’offre

Mesures physiques

(119 articles en ce moment)

Cette offre vous donne accès à :

Une base complète d’articles

Actualisée et enrichie d’articles validés par nos comités scientifiques

Des services

Un ensemble d'outils exclusifs en complément des ressources

Un Parcours Pratique

Opérationnel et didactique, pour garantir l'acquisition des compétences transverses

Doc & Quiz

Des articles interactifs avec des quiz, pour une lecture constructive

ABONNEZ-VOUS

Lecture en cours
Présentation

Page
suivante

Problèmes généraux. Unités

Cet article est réservé aux abonnés.
Il vous reste 93% à découvrir.

Pour explorer cet article
Téléchargez l'extrait gratuit

Vous êtes déjà abonné ?Connectez-vous !

L'expertise technique et scientifique de référence

La plus importante ressource documentaire technique et scientifique en langue française, avec + de 1 200 auteurs et 100 conseillers scientifiques.

+ de 10 000 articles et 1 000 fiches pratiques opérationnelles, + de 800 articles nouveaux ou mis à jours chaque année.

De la conception au prototypage, jusqu'à l'industrialisation, la référence pour sécuriser le développement de vos projets industriels.

Cet article fait partie de l’offre

Mesures physiques

(119 articles en ce moment)

Cette offre vous donne accès à :

Une base complète d’articles

Actualisée et enrichie d’articles validés par nos comités scientifiques

Des services

Un ensemble d'outils exclusifs en complément des ressources

Un Parcours Pratique

Opérationnel et didactique, pour garantir l'acquisition des compétences transverses

Doc & Quiz

Des articles interactifs avec des quiz, pour une lecture constructive

ABONNEZ-VOUS

BIBLIOGRAPHIE

(1) - ROMMEL (G.) - Notions de base en technique du vide. - SFV Société française du vide (1995).
(2) - DUVAL (P.) - Le vide. Ses applications, son obtention. - SFV (1993).
(3) - BLANC (B.), HENRY (R.), LECLERC (J.) - Guide de l’étanchéité. - SFV (1981).
(4) - GRIGOROV (G.), KANEV (V.) - Le vide poussé au laboratoire et dans l’industrie. - (Traduit du bulgare par E. Thomas). Masson (1970).
(5) - HOLLAND (L.), STECKELMACHER (W), YARWOOD (J.) - Vacuum manual. - E. et F.N. Spon Edit. London (1974).
(6) - GASCOIGNE (J.) - Precise pressure measurement in the range 0,1‐500 torr. - Vacuum (G. B.), 21, no 1‐2, p. 21 (1971).
...

NORMES

Technique du vide. Vocabulaire. Termes généraux. - X 10‐500 - 11.75
Technique du vide. Vocabulaire. Pompe à vide. - X 10‐501 - 5.76
Technique du vide. Termes et définitions. Manomètre à vide. Lexique multilingue. - X 10‐502 - 5.80
Technique du vide. Mesure de la pression dans les systèmes à vide industriels. - X 10‐520 - 11.74
Technique du vide. Manomètres. Étalonnage. Méthode par comparaison directe. - X 10‐521 - 8.76
Technique du vide. Manomètre à ionisation. Étalonnage. Méthode par comparaison directe. - X 10‐522 - 8.76
Technique du vide. Méthodes générales d’étalonnage des manomètres par les basses pressions. - X 10‐523 - 11.72
Technique du vide. Manomètres‐Étalonnage....