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Article

1 - AVANTAGES DES ULTRASONS POUR L’IMAGERIE

2 - PRINCIPE DU MICROSCOPE ACOUSTIQUE À BALAYAGE

3 - IMAGERIE ET SIGNATURE ACOUSTIQUE

  • 3.1 - Modes de volume et modes de surface
  • 3.2 - Microéchographie : une imagerie qualitative
  • 3.3 - Micro-interférométrie : une caractérisation quantitative locale des matériaux

4 - SYSTÈMES DE FOCALISATION

  • 4.1 - Lentille de focalisation
  • 4.2 - Calottes et membranes sphériques : microscopie acoustique « basse fréquence »
  • 4.3 - Focalisation linéaire
  • 4.4 - Focalisation électronique : vers la microscopie tridimensionnelle
  • 4.5 - Microscopie acoustique en champ proche

5 - APPLICATIONS

  • 5.1 - Microélectronique
  • 5.2 - Métallurgie
  • 5.3 - Polymères et composites
  • 5.4 - Matériaux poreux
  • 5.5 - Biomédical
  • 5.6 - Agroalimentaire

6 - PERSPECTIVES D’AVENIR

Article de référence | Réf : R1402 v2

Avantages des ultrasons pour l’imagerie
Microscopie acoustique

Auteur(s) : Thomas MONNIER

Date de publication : 10 déc. 2014

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NOTE DE L'ÉDITEUR

Cet article est la mise à jour de l'article "Microscopie acoustique" rédigé en 1998 par Jacques ATTAL.

01/12/2014

RÉSUMÉ

La microscopie acoustique regroupe plusieurs modalités d’imagerie acoustique qui poursuivent le même but : offrir une résolution comparable à la microscopie optique tout en permettant l’inspection au voisinage de la surface ou jusqu’à une profondeur, fonction de l’atténuation des ultrasons. Les principes physiques et plusieurs systèmes de focalisation sont exposés. Les applications illustrées appartiennent aux domaines du contrôle non destructif et de la caractérisation ultrasonore locale des matériaux.

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ABSTRACT

Acoustic microscopy includes several acoustic-imaging modalities, which pursue the same goal: to provide comparable resolution to optical microscopy while allowing inspection in the vicinity of the surface or to a depth depending from the attenuation of ultrasound. Physical principles and several focusing systems are outlined. Illustrated practical applications belong to non-destructive testing and local ultrasonic characterization of materials.

Auteur(s)

  • Thomas MONNIER : Maître de conférences à l’université de Lyon - Laboratoire acoustique et vibrations de l’Institut national des sciences appliquées de Lyon (INSA de Lyon)

INTRODUCTION

Aboutissement d’une synthèse de plusieurs disciplines de la physique et de l’ingénierie, le microscope acoustique a maintenant plus d’une trentaine d’années d’existence. Dans le domaine des essais non destructifs, il a prouvé son efficacité pour l’inspection interne de matériaux opaques, intégrés dans des structures de plus en plus complexes. Beaucoup d’instruments de ce type opèrent en routine sur sites industriels particulièrement pour le contrôle qualité dans la production de circuits électroniques.

En parallèle, on continue dans les laboratoires universitaires à améliorer les performances et à élargir le champ des applications. Les recherches concernant la caractérisation par microscopie acoustique n’ont pas cessé de progresser, motivées en premier lieu par la science des matériaux et par l’imagerie quantitative en médecine.

Il existe énormément de produits ou de procédés industriels qui utilisent une ou plusieurs couches minces déposées sur un substrat. La caractérisation de ces revêtements : leur épaisseur, leur adhésion, leurs propriétés viscoélastiques et leur évolution, est un challenge important.

Enfin, la progression des techniques de champ proche n’a pas épargné l’acoustique qui, paradoxalement, en était une au départ (acoustique aérienne, acoustique musicale). En cela, l’essor des microtechniques a fortement aidé à développer de nouveaux concepts d’instruments, en permettant une approche acoustique différente mais complémentaire des techniques de microscopie classique.

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KEYWORDS

materials   |   resolution   |   microscopy   |   attenuation of ultrasound   |   non-destructive testing   |   Local ultrasonic characterization

VERSIONS

Il existe d'autres versions de cet article :

DOI (Digital Object Identifier)

https://doi.org/10.51257/a-v2-r1402


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1. Avantages des ultrasons pour l’imagerie

Optique, électronique et maintenant acoustique sont les trois domaines exploités par la microscopie. L’utilisation des ultrasons en microscopie remonte aux années soixante-dix, suite notamment aux travaux des équipes de recherche de l’université de Stanford (Californie) où des transducteurs fonctionnant dans des gammes de fréquences de plusieurs centaines de mégahertz ont vu le jour dès le début des années soixante. La mise sur le marché des premiers instruments s’est faite, elle, vers la fin des années quatre-vingt. Plusieurs constructeurs sont aujourd’hui présents de par le monde (voir la fiche documentaire en fin d’article). Le microscope acoustique, par la nature des ondes utilisées, présente les avantages habituels des ultrasons : rayonnements non ionisants et de faible intensité (quelques milliwatts à quelques centaines de milliwatts), donc sans danger pour les applications biomédicales, et non destructif lorsqu’il s’agit d’observer les solides au voisinage de leur surface ou en profondeur (observations ne nécessitant pas d’attaque chimique). La résolution de cet instrument, qui conditionne le grandissement maximum, est comparable à celle des meilleurs appareils optiques. De nos jours, des prototypes de laboratoire sont ainsi capables, en utilisant l’hélium superfluide comme liquide de couplage, d’atteindre des résolutions de quelques dizaines de nanomètres par l’emploi de fréquences de quelques dizaines de gigahertz.

En outre, l’opacité acoustique diffère de celle de l’optique, ce qui permet d’extraire des informations complémentaires par l’usage de ces deux types de modalités sur un même échantillon. Par exemple, le contraste donné par le verre et le plexiglas, aussi transparents l’un que l’autre aux ondes lumineuses, est très faible en optique mais plus important en acoustique car le verre est beaucoup plus réfléchissant aux ultrasons que le plexiglas. En revanche, l’aluminium présente par rapport au verre des caractéristiques acoustiques similaires, et des caractéristiques optiques très nettement différenciées.

Enfin, si la microscopie acoustique apporte une image acoustique de la microstructure, elle permet aussi de mesurer de manière quantitative les propriétés locales d’élasticité et de viscosité d’une vaste gamme de matériaux, et d’étudier la dynamique des processus physico-chimiques qui s’y déroulent. La technique a gagné ses lettres de noblesse en permettant...

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BIBLIOGRAPHIE

  • (1) - VIKTOROV (I.A.) -   Rayleigh and Lamb Waves  -  Plenum, New York, pp. 1-6 (1967).

  • (2) - ROYER (D.), CLORENNEC (D.) -   An improved approximation for the Rayleigh wave equation  -  Ultrasonics, 46, pp. 23-24 (2007).

  • (3) - WEGLEIN (R.D.) -   A model for predicting acoustic material signatures  -  Appl. Phys. Lett., 34, pp. 179-181 (1979).

  • (4) - GUO (Z.Q.) et al -   Modeling and acoustic microscopy measurements for evaluation of the adhesion between a film and a substrate  -  Thin Solid Films, 394, pp. 189-201 (2001).

  • (5) - NGWA (W.) et al -   Characterization of polymer thin films by phase-sensitive acoustic microscopy and atomic force microscopy : a comparative review  -  Journal of microscopy, 218, pp. 208-218 (2005).

  • (6) - DA FONSECA (R.J.M), SAUREL (J.M), DESPAUX (G.) -   Elastic...

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1 Annuaire

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1.1 Organismes – Associations – Fédérations

Université de Montpellier II. Laboratoire d’Analyse des Interfaces et de nanophysique.

Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN) – Université Lille I – Sciences et technologies – Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambresis

Laboratoire d’Imagerie Paramétrique. Université Pierre et Marie Curie – Paris 6

Centre national de la recherche scientifique. Département des Sciences pour l’Ingénieur (SPI)

Ministère de la recherche scientifique et technique (DSPT 4, Sciences pour l’Ingénieur)

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1.2 Constructeurs – Fournisseurs – Distributions

Acoustique Métrologie

Biosonic :

http://biosonic.divatech.fr

Hitachi :

http://www.hitachi.fr

Honda Electronics :

http://www.honda-el.co.jp/en

Kämer Scientific Instrument GmbH (représentant : Systems and Technology International) :

http://www.stifrance.com

Kibero GmbH (Saarbrücken) :

http://kibero.com

Krautkramer :

http://www.krautkramer.com.au...

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