Présentation
En anglaisAuteur(s)
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Gilles Amendola : Enseignant chercheur à ESIEE Engineering
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Patrick Poulichet : Enseignant chercheur à ESIEE Engineering
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Laure Sevely : Enseignant chercheur à ESIEE Engineering
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Laurie Valbin : Enseignant chercheur à ESIEE Engineering
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Lire l’articleINTRODUCTION
Après avoir exposé dans le premier article (article [R 430]) les technologies de fabrication, les principaux effets rencontrés et les traitements électroniques associés, le but de ce 2e article est d’exposer les techniques utilisées et leur réalisation industrielle (ou expérimentale) dans les principaux types de mesures ; ainsi, les méthodes utilisées pour les mesures de pression, accélération, vitesse angulaire, courant, détection d’agents chimiques, etc. seront développées.
Rappelons au lecteur qui n’aurait pas lu [R 430] que nous définissons par « microsystèmes » des systèmes à base de microtechnologie qui associent des principes mécaniques, électriques, optiques, chimiques, etc. et l’électronique de traitement. Le terme « MEMS » est utilisé pour des microsystèmes basés sur des principes électriques et mécaniques et les microcapteurs (ou capteurs MEMS) sont des microsystèmes dédiés à la détection ou à la mesure de grandeurs physiques.
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2. Exemples et applications industrielles
Nous donnons ici un aperçu des capteurs MEMS industrialisés. Le paysage est en évolution et les fabricants sont nombreux, il n’est donc pas possible de tous les citer.
2.1 Accéléromètres
Il existe, sur le marché, des accéléromètres mono, bi et tri-axes. L’électronique de conditionnement est généralement intégrée sur la même puce ou dans le même boîtier. Ceci permet de convertir l’accélération en signal analogique ou numérique.
Parmi les principaux fabricants d’accéléromètres, on trouve ST-Microelectronis, Analog Devices ou Bosch (voir quelques exemples dans le tableau 4).
HAUT DE PAGE2.2 Gyromètres
Dans le tableau 5, quelques exemples de gyromètres MEMS mono, bi et tri-axes à sorties analogique ou numérique sont donnés.
HAUT DE PAGE2.3 Capteurs de pressions
Les capteurs de pression se trouvent dans le contrôle industriel, contrôle moteur en automobile, également pour la mesure de pression de pétrole liquide ou de gaz. Les fabricants sont assez nombreux : All Sensors, Bosch, Freescale, Infineon, ST... (tableau 6).
HAUT DE PAGE2.4 Microphones
On trouvera, dans le tableau 7, les principaux fabricants de microphones utilisant la technologie des MEMS. On notera l’arrivée des modèles à sortie numérique directe. Beaucoup de ces dispositifs sont utilisés dans les téléphones mobiles. Ce marché est en plein développement, outre les fabricants cités ci-dessous, les sociétés ST et Omron se sont alliées pour produire des microphones MEMS dont les documentations techniques ne sont pas encore disponibles à ce jour.
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BIBLIOGRAPHIE
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