1 - GÉNÉRALITÉS

• 1.1 - Concept de micromécanique
• 1.2 - Dimensions et tolérance possibles
• 1.3 - Positionnement par rapport aux articles sur l’usinage (chimique, ultrasons, jet de fluide…)

2 - SILICIUM

• 2.1 - Introduction
• 2.2 - Gravure chimique
  Figure 1 - Principe de la microphotolithographie Figure 2 - Attaque anisotrope et isotrope Figure 3 - Gravure du silicium (100) Figure 4 - Motif de compensation orienté (100) Figure 5 - Sillons étroits et rapprochés sur un substrat (110) Figure 6 - Méthode de prédiction de Wulff-Jacodine Figure 7 - Exemple d’usinage de volume (capteur de pression) Tableau 1 - Produits d’attaque du silicium : caractéristiques
• 2.3 - Gravure sèche
  Figure 8 - Combinaison de l’usinage laser et de la gravure chimique anisotrope Figure 9 - Micro-usinage sur substrat Simox : principe Figure 10 - Exemples de micro-usinages de surface
• 2.4 - Gravure électrochimique
  Figure 11 - Gravure isotrope dans un réacteur micro-onde avec SF6 Figure 12 - Usinage de buses par gravure plasma suivi d’une gravure chimique
• 2.5 - Épitaxie
  Figure 13 - Usinage de membrane avec couche d’arrêt Figure 14 - Gravure électrochimique Figure 15 - Épitaxie sur couches implantées
• 2.6 - Scellement de substrats
• 2.7 - Conclusion sur le silicium

3 - AUTRES MATÉRIAUX

• 3.1 - Quartz
  Figure 16 - Vue d’un cristal de quartz Figure 17 - Exemples de profils de poutres sur un substrat de quartz de coupe Z Figure 18 - Variation de la vitesse en fonction de la concentration en HF Figure 19 - Variation de la vitesse de gravure avec la température Figure 20 - Exemples de diagrammes de gravure du quartz Figure 21 - Scellement anodique du quartz Figure 22 - Diapason en quartz pour gyroscope Figure 23 - Galvanomètres conventionnel et à quartz Figure 24 - Principe d’un capteur de pression en quartz Figure 25 - Capteur de pression en quartz Figure 26 - Micro-accéléromètre en quartz asservi Figure 27 - Micro-accéléromètre en quartz boucle ouverte Figure 28 - Principe d’un capteur de pression résonant en quartz Figure 29 - Capteur de pression résonant en quartz : photographie au microscope électronique à balayage Tableau 2 - Quelques propriétés du quartz Tableau 3 - Variations de la vitesse de gravure du quartz (25 oC) selon différents axes Tableau 4 - Énergie d’activation pour la gravure de la silice. Composition [NH4F] [HF] Tableau 5 - Coefficients de dilatation thermique (en 10–6 K –1) de divers matériaux Tableau 6 - Caractéristiques de micro-galvanomètres
• 3.2 - Matériaux plus « exotiques »

4 - CONCLUSIONS

Tableau 7 - Limites à la rupture de poutres micro-usinées