ALD et capteurs
ALD pour des applications capteurs, biocapteurs et membranes

Les performances des capteurs, biocapteurs et membranes ainsi que leurs sélectivités dépendent de la structuration, de la morphologie et de la nature des matériaux utilisés. La technique de dépôt par couche atomique ou ALD apparaît comme une technique de choix de par sa simplicité et l’homogénéité des dépôts, ainsi que du contrôle de l’épaisseur au niveau atomique. Cet article présente l’utilisation de l’ALD pour la fabrication de capteurs, biocapteurs et membranes avec les réalisations possibles en termes de détection et de séparation. L’avantage de cette technique par rapport à des approches plus conventionnelles est mis en évidence par quelques exemples choisis dans la littérature.

The performance of sensors, biosensors and membranes, and their selectivity are dependent on the structuring, morphology and type of the material used. Atomic layer deposition (ALD) is a useful synthesis technique owing to its simplicity, reproducibility, the atomic scale precision of the deposited thickness, and high homogeneity of the obtained films. This article deals with the use of ALD for fabricating sensors, biosensors and membranes, and describes some achievements in sensing and separation. The advantages of the technique over common ones are highlighted by some examples taken from the literature.