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Daniel VAN LABEKE : Laboratoire d’optique P.M. Duffieux, université de Franche-Comté - CNRS URA 214, UFR Sciences et techniques
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En 1981, Binnig et Rohrer inventent le microscope électronique à effet tunnel (STM : Scanning Tunneling electronic Microscope ) ; leur découverte va provoquer un renouveau de la recherche en microscopie et donner naissance à de nombreux microscopes fondés sur un principe complètement nouveau. En fait, on peut considérer que leur invention marque la naissance d’une nouvelle microscopie : la microscopie à sonde locale ou en champ proche.
Dans un microscope traditionnel, la partie la plus importante est une lentille, l’objectif. L’objet est éclairé par réflexion ou par transmission et l’objectif capte le champ diffracté par l’objet pour en faire une image. La lumière étant une onde, la diffraction par l’objectif limite le pouvoir de résolution du microscope : le critère de Rayleigh interdit de séparer deux points de l’objet plus rapprochés que la demi-longueur d’onde. En lumière visible, le pouvoir séparateur est théoriquement de l’ordre de 0,25 µm et, pratiquement, est rarement inférieur à un micromètre.
Un microscope à sonde locale ne possède pas de lentille ; la pièce la plus importante de ces microscopes est une sonde, très fine, qui est déplacée au voisinage de l’objet, en champ proche, pour l’éclairer ou en capter un signal. Ces microscopes sont des microscopes à balayage ; l’image est obtenue en déplaçant point par point la sonde et en traçant le signal détecté en fonction de sa position. Ils nécessitent l’utilisation d’un ordinateur pour visualiser les images, mais aussi pour contrôler la position de la sonde qui doit se déplacer à des distances nanométriques de la surface de l’objet.
Ces microscopes ont un pouvoir de résolution qui n’est pas limité par la diffraction et fournissent des images avec une résolution inespérée il y a encore peu de temps. Des images avec une résolution de 20 nm sont produites par de nombreux laboratoires et une équipe a obtenu une résolution de 1 nm.
Dans cet article, nous présentons rapidement l’historique des microscopes optiques en champ proche. Puis nous décrivons et comparons les différentes configurations les plus utilisées actuellement, en expliquant le principe de fonctionnement et en montrant comment l’utilisation des ondes évanescentes permet d’aller au-delà du critère de Rayleigh. Nous présentons ensuite les différents problèmes techniques et les solutions qui leur sont apportées, ainsi que les résultats actuels et quelques exemples d’applications. Les perspectives et l’évolution probable de cette technique très récente mais promise à un grand développement sont évoquées en conclusion.
Pour de plus amples renseignements, le lecteur se reportera aux références [1] et [2].
VERSIONS
- Version courante de sept. 2014 par Jérôme SALVI, Daniel VAN LABEKE
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4. Résultats et applications
À ce jour, les microscopes optiques en champ proche ont prouvé que l’on pouvait en optique obtenir des images avec une résolution latérale bien en deçà du critère de Rayleigh. Mais la résolution est encore moins bonne que celle du microscope électronique par effet tunnel ou du microscope à force atomique. Cependant, même avec une résolution limitée à 20 nm, la microscopie optique en champ proche est promise à un grand développement car elle permet d’étendre dans le domaine submicronique toutes les méthodes op-tiques d’analyse, de mesure et de fabrication. Depuis deux ans, le nombre de publications est en forte augmentation, illustrant les diverses possibilités de cette nouvelle microscopie optique. Nous allons présenter quelques-uns des meilleurs résultats en résolution, puis nous exposerons, en les classant, quelques exemples d’applications.
4.1 Résultats en résolution
De nombreuses équipes de par le monde maîtrisent parfaitement la technique des microscopes optiques en champ proche où la sonde est une fibre optique taillée en pointe et qui fonctionne en mode de détection ou en mode d’émission. La résolution ultime atteinte en 1996 semble être voisine de 15 à 20 nm, que la pointe soit utilisée telle quelle ou métallisée.
La figure 5 présente des images d’un réseau 2D de plots métal-liques de 40 nm de hauteur. La lumière utilisée a pour longueur d’onde λ = 638 nm ; un tel réseau est invisible avec le meilleur microscope classique à cause de sa faible hauteur et de sa période bien inférieure à la longueur d’onde. Le microscope utilisé pour imager ce réseau est un microscope mixte AFM-STOM dont le principe est représenté sur la figure 2 mais qui a été rendu plus compact [25].
Il permet l’enregistrement simultané (figure 5), au cours du balayage, d’une image topographique de l’objet obtenue avec l’AFM et d’une image optique en champ proche. En optique, deux pola-risations différentes peuvent être employées. La polarisation TE (images supérieures) est perpendiculaire au plan d’incidence. La polarisation TM est dans le plan d’incidence (images inférieures). La partie...
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BIBLIOGRAPHIE
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(1) - SALVAN (F.) - Microscopie par effet tunnel - . Techniques de l’Ingénieur, P 895, vol. P1 (1989).
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(2) - ARNOLD (M.) - Microscopie optique - . Tech-niques de l’Ingénieur, P 860, vol. P1 (1993).
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(3) - SYNGE (E.H.) - A suggested method for extending microscopic resolution into the ultra-microscopic region - . Phil. Mag. 6, p. 356-362 (1928).
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(4) - POHL (D.W.) - Optical near-field scanning microscope - . European Patent Application No 0112401, filed December 27, 1982 ; U.S. Patent 4, 604, 520, filed December 20 (1983).
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(5) - LEWIS (A.), ISAACSON (M.), MURRAY (A.) et HAROOTUNIAN (A.) - Scanning optical spectral microscopy with 500 A resolution - . Biophys. J. 41, p. 405a (1983).
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(6) - POHL (D.W.), DENK (W.) et DÜRIG (U.) - Optical stethoscopy : imaging with λ/20 in Micron and submicron...
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