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Auteur(s)
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Bruno BLANCHARD :
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Lire l’articleINTRODUCTION
1 Théorie
1.1 Pulvérisation
1.2 Émission ionique secondaire
2 Appareillage
2.1 Spectromètre de masse
2.2 Source d'ions primaires
2.3 Optique ionique primaire
3 Applications analytiques
3.1 Type d'analyse
3.2 Limites de détection
3.3 Images ioniques
3.4 Profils de concentration suivant la profondeur
3.5 Analyse quantitative
3.6 Analyse de surface
3.7 Analyse des isolants
3.8 Dégâts occasionnés par l'analyse ionique
4 Comparaison avec d'autres méthodes d'analyse de surface
5 Conclusion
Documentation
L'expertise technique et scientifique de référence
VERSIONS
- Version archivée 2 de juil. 1988 par Bruno BLANCHARD
- Version archivée 3 de déc. 1998 par Évelyne DARQUE-CERETTI, Henri-Noël MIGEON, Marc AUCOUTURIER
- Version courante de déc. 2014 par Evelyne DARQUE-CERETTI, Marc AUCOUTURIER, Patrice LEHUÉDÉ
DOI (Digital Object Identifier)
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