Cette spectrométrie est une méthode de microanalyse ; suite à l’irradiation par des ions lourds, les particules ionisées sont filtrées en masse pour accéder à la composition de l’échantillon. Découvrez principes de base, types de détection, appareillages et paramètres expérimentaux de cette technique.

Cet article décrit les procédures d'analyse utilisées en spectrométrie de masse d'ions secondaires et les performances que l'on peut en attendre, suivant la nature du spectromètre (déflection magnétique ou temps de vol) et de la source d'ions primaires. La logique d'exposé va du plus simple au plus compliqué : acquisition des spectres de masse d'ions secondaires pour une identification qualitative, possibilités d'analyse élémentaire quantitative, analyse de l'extrême surface, profilage analytique en profondeur, applications des analyses isotopiques, description des phases et composés présents, développement de l'imagerie et du traitement 3D. Des exemples, souvent tirés d'applications industrielles, illustrent le texte.