Présentation
Auteur(s)
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Guy ROMMEL : Ingénieur de l’École Supérieure d’Électricité - Ingénieur au Commissariat à l’Énergie Atomique, Laboratoire National Saturne
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Lire l’articleINTRODUCTION
La conception d’une installation sous vide exige en premier lieu de bien poser le problème à résoudre. S’agit-il de pomper un flux gazeux en provenance de l’extérieur ou d’une réaction se produisant à l’intérieur de l’enceinte ? Ou bien faut-il atteindre une pression donnée en un temps donné ? Suivant les cas, l’installation à adopter sera différente.
De toute façon, une bonne connaissance des phénomènes liés à la technique du vide nous paraît indispensable. La lecture des articles de cette rubrique, [B 4 010] et suivants, s’avérera utile pour la réalisation des enceintes et pour connaître les dispositions et les précautions à prendre.
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Descente en pression2. Exemple de fonctionnement d’un groupe de pompage
Le groupe de pompage le plus souvent rencontré se compose d’une pompe à palettes et d’une pompe à diffusion (figure 1). C’est un groupe capable d’assurer une pression de 10– 3 à 10– 5 Pa avec un débit-volume de 0,1 à 5 m3 / s.
Le fonctionnement d’un tel système est le suivant.
Initialement, l’enceinte A est à la pression atmosphérique, tous les appareils sont à l’arrêt et les robinets fermés.
À la mise en service, les robinets G2 et G3 sont ouverts et les pompes C et H sont mises sous tension. Lorsque la pompe C a atteint sa température de régime donnant un bon fonctionnement des éjecteurs (de l’ordre de 300 oC), et pour autant que les pressions indiquées par les manomètres (par exemple, à thermoconductivité) F1 et F2 soient inférieures à la pression d’amorçage p 1 de cette pompe C, le robinet G2 est fermé et le robinet B est ouvert, et l’évacuation se poursuit suivant la voie A, B, C, G3 , H.
pour éviter une contamination de l’enceinte par l’huile de la pompe à palettes, il n’est pas recommandé de laisser celle-ci travailler longtemps près de son vide limite. Pour éviter ceci, on ferme le robinet G2 dès que la pression de l’enceinte A est inférieure à p 1 .
La pression dans l’enceinte de travail A est mesurée par le manomètre E (par exemple, à ionisation à cathode chaude ou életromagnétique).
Si l’on désire remettre l’enceinte à la pression atmosphérique sans attendre le refroidissement de la pompe C qu’il faudrait mettre hors tension, il faut fermer les robinets B et G3 arrêter la pompe H et ouvrir les robinets G1 et G2 .
Pour un nouveau cycle de pompage, l’enceinte A est mise sous basse pression en fermant G1 et en mettant H sous tension. Lorsque la pression indiquée par F1 est inférieure à p 1 , on ouvre B et G3 et on ferme G2 . L’évacuation se poursuit à nouveau selon la voie A, B, C, G3 , H.
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