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Cet équipement répond à des attentes peu satisfaites jusqu’alors par les réacteurs disponibles sur le marché. De coût modeste, il est adaptable aux différents procédés et permet d’atteindre d’excellentes performances techniques, notamment en terme d’uniformité.
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Conclusions5. Expérimentations
5.1 Méthodes de caractérisation. Définition des réponses
EDS : energy dispersive spectrometry
Sur la microanalyse X :
Méthodes de microanalyse des surfaces et couches minces [P 3 795] de G. Blaise
Nous avons suivi, sur chacune des plaques caractérisées, cinq grandeurs (ou réponses) que nous avons jugées essentielles. Elles sont listées ci-après. Pour chacune d’elles, nous avons utilisé des méthodes de caractérisation adaptées qui sont également citées ci-après. Nous ne présentons, dans cet article, que les résultats concernant les trois premières réponses :
-
l’uniformité de l’épaisseur du dépôt, en pourcentage donné à 1σ : mesure d’épaisseur par profilométrie mécanique ;
-
l’uniformité de composition de l’alliage, en pourcentage donné à 1σ : mesure de composition par microanalyse X (EDS) ;
-
la qualité du dépôt (rugosité, défauts) : mesure de rugosité par profilométrie mécanique, observations en microscopie optique à lumière polarisée ;
-
la contrainte du matériau : mesure de flèche (bombé de la plaque) par profilométrie mécanique, calcul de la contrainte ;
-
la résistivité du matériau : mesure de résistivité par mesure de résistance carrée.
5.2 Résultats pour l’alliage Co90Fe10
Les essais menés sur Co90Fe10 ont été réalisés en tenant compte des résultats optimisés des simulations.
Des essais préliminaires dans la cellule standard ont permis de déterminer la densité de courant optimale pour le...
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