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Cet équipement répond à des attentes peu satisfaites jusqu’alors par les réacteurs disponibles sur le marché. De coût modeste, il est adaptable aux différents procédés et permet d’atteindre d’excellentes performances techniques, notamment en terme d’uniformité.
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Prérequis2. Démarche
DESINER : Design and Simulation of New Electrochemical Reactors
http://www-leti.cea.fr/commun/europe/designer/designer.htm
La plupart des résultats présentés ici ont été obtenus dans le cadre d’un projet européen de type « Brite-Euram », nommé DESINER. L’une des originalités de ce projet était de permettre une collaboration étroite entre des universitaires, spécialistes d’électrochimie et de simulation, et des industriels, rompus aux contraintes applicatives.
Dans le cadre de ce projet, la démarche choisie, assez originale, a été de privilégier au maximum l’aspect de simulation des phénomènes électrochimiques et des géométries de réacteurs, afin de limiter la mise au point de prototypes expérimentaux. Cette démarche est illustrée sur la figure 1.
À partir d’un état de l’art des réacteurs électrochimiques existants, nous avons cherché, en tenant compte des contraintes spécifiques des microsystèmes, à développer de nouvelles idées de base, originales, permettant d’optimiser l’uniformité du dépôt sans faire tourner la cathode. Cette contrainte est notamment liée au fait que l’on souhaite pouvoir déposer des matériaux magnétiques dans ce réacteur. Dans ce cas, il est nécessaire d’imposer un champ magnétique pendant le dépôt afin de donner une anisotropie magnétique au matériau électrodéposé. Cela exclut la possibilité d’améliorer l’uniformité de ce dernier par une rotation de la cathode.
Nous avons ensuite validé et optimisé les nouvelles géométries en simulation. Nous sommes ensuite passés à la conception et à la construction du nouveau réacteur. Enfin, nous avons expérimenté ce nouveau réacteur pour un matériau magnétique doux, Co90Fe10, et pour le cuivre. Au final, nous avons également commencé une démarche de valorisation de ce réacteur, notamment par le biais d’une étude de marché, qui n’est pas présentée dans cet article.
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