Microsystèmes

Le concept de Microsystème est né, à la fin des années 1980, aux États-Unis, des actions conduites à l’université de Berkeley pour intégrer, sur une même puce de silicium, capteurs, traitement du signal et actionneurs. L’intégration de certains capteurs avec leur traitement de signal était déjà bien explorée depuis quelques années (capteurs thermiques, capteurs de vision, capteurs magnétiques de Hall...) ; la nouveauté tenait à l’intégration des actionneurs électrostatiques sous forme de moteurs rotatifs ou linéaires. Ce concept a très rapidement suscité un vif intérêt dans le monde. Appelé MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) aux États-Unis, il s’est appelé Micromachines au Japon et MST (Microsystèmes Technologies) en Europe. On utilise en France le terme de Microsystème.

Les raisons de cet intérêt et de la mobilisation qui s’en est suivie sont au moins au nombre de deux :

• du point de vue du chercheur, ce concept pose des questions nouvelles en termes de matériaux, de compatibilité technologique et de méthodologies de conception des systèmes ;

• du point de vue de l’ingénieur, il y a, dans le concept, des perspectives d’intégration et de fabrication collective de nouveaux produits qui, par leur faible coût, devraient rapidement pénétrer des marchés tenus par des produits assemblés de manière plus classique et même ouvrir de nouveaux marchés, ne serait-ce que par le côté attractif de la réduction des dimensions.

En dix années, la situation a beaucoup évolué. De nombreux exemples de réalisations ont été explorés. Des premières générations de produits ont été commercialisées. On peut considérer aujourd’hui que la faisabilité est acquise et que l’on s’engage dans une deuxième grande étape de recherche-développement de produits nouveaux en vue de leur industrialisation.

Ce recul de dix ans nous permet aussi de mieux délimiter le champ des microsystèmes :

• les microsystèmes se situent dans le prolongement de la microélectronique à laquelle ils empruntent le matériau (le silicium) et les technologies de base (photolithographie, oxydation, implantation, diffusion, dépôts de couches isolantes et métalliques). Ils y introduisent de nouvelles opérations de micro-usinage (micro-usinage de volume, micro-usinage de surface, dépôts de couches actives sensorielles) ;

• les microsystèmes s’interfacent avec de nombreuses méthodes et technologies développées dans d’autres disciplines : micromécanique, micro-optique, chimie et biochimie, électromagnétique..., dans une démarche d’intégration globale, hétérogène ;

• les technologies microsystèmes associent l’approche monolithique tout silicium, qui en est le fondement stratégique, avec les assemblages hybrides qui apportent des solutions immédiates et efficaces à l’intégration système. Cela permet d’associer plus aisément des technologies diverses en ne résolvant que les problèmes d’interconnexions électriques, fluidiques et optiques.

Une représentation synthétique est celle de la figure 1.

Cette représentation donne un fil conducteur aux développements qui vont suivre.

Un premier objectif sera de présenter les technologies de base des microsystèmes en montrant en quoi elles s’inspirent d’avancées de la microélectronique et sur quels points elles apportent de la nouveauté.

Un deuxième objectif sera de présenter les fonctions de base actuellement disponibles en termes de capteurs (micromécaniques, chimiques et biochi-miques, optiques, magnétiques...), et en termes d’actionneurs (électrostatiques, piézoélectriques et électromagnétiques...). Les fonctions de base sont déjà très nombreuses et toujours en développement rapide. Notre choix a été de limiter cette présentation aux fonctions disponibles ou presque au niveau du marché.

Un dernier objectif est de considérer les applications en cours et potentielles des microsystèmes telles que les études de marché les évaluent à ce jour pour conclure sur quelques axes de travail à privilégier pour les chercheurs et les ingénieurs.

Mais avant d’entrer dans ces développements, nous analyserons deux exemples historiques qui permettent de bien situer le concept, ses avantages et ses perspectives.