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1 - ANALYSES DES MATÉRIAUX CONDUCTEURS

2 - ANALYSE DES MATÉRIAUX ISOLANTS

3 - COMPARAISONS AVEC LES AUTRES MÉTHODES D’ANALYSE DE SURFACE

4 - CONCLUSION

| Réf : COR875 v1

Analyse des matériaux isolants
Caractérisation des surfaces par SDL

Auteur(s) : Hubert HOCQUAUX

Date de publication : 10 mars 1997

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  • Hubert HOCQUAUX : Ingénieur de l’Institut national des sciences appliquées de Lyon (INSA) - Chef du Département Chimie minérale et organique de l’IRSID (groupe Usinor Sacilor)

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INTRODUCTION

Les propriétés d’emploi des matériaux dépendent souvent, dans une large mesure, de leur composition superficielle. Afin de conférer aux produits une plus grande valeur ajoutée, l’industrie s’est attachée à développer des traitements de surface ou des revêtements permettant d’apporter à un matériau des propriétés surfaciques supplémentaires. On peut ainsi, en protégeant un acier au carbone par un revêtement de zinc et un système de peinture, lui conférer une résistance à la corrosion tout en gardant d’excellentes propriétés mécaniques (tôles automobiles par exemple).

Il en est de même si l’on veut améliorer la résistance à l’usure, les propriétés d’isolation, la résistance à l’oxydation... Le développement de tels traitements a nécessité la mise en place d’outils d’étude et de contrôle afin d’aboutir à des produits fiables et reproductibles.

Compte tenu de l’essor de l’industrie des traitements de surface, l’analyse et d’une façon plus large la caractérisation des surfaces de solides correspondent à un grand besoin dans des domaines très divers : corrosion, oxydation, passivation, catalyse, usure, frottement, lubrification, diffusion, adsorption, adhérence, conductivité thermique et électrique, etc. Suivant le problème étudié et les propriétés concernées la définition du terme surface peut varier de façon très importante, depuis la stricte monocouche jusqu’à des couches atteignant plusieurs dizaines de micromètres ou plus (dépôts plasma par exemple).

Il existe une très grande variété de méthodes d’analyse disponibles, dont certaines sont essentiellement utilisées dans les centres de recherches universitaires ou les centres techniques. On constate cependant aujourd’hui que la localisation des outils est plus large et qu’elle dépend d’une part du degré de sophistication et d’avancement de la technique, et d’autre part, de la valeur ajoutée du produit analysé.

Cependant, si l’on exclut le domaine de la microélectronique, peu de méthodes sont adaptées au contrôle des surfaces industrielles à partir du moment où l’on souhaite une information rapide sur un grand nombre d’éléments et pour des épaisseurs de couches très variables, ce qui est souvent le cas après les traitements ou les revêtements.

Par ailleurs, la qualité des échantillons ne permet pas toujours l’obtention d’un vide poussé (porosités, présence de résidus organiques...).

Compte tenu de sa facilité de mise en œuvre et de son large domaine d’utilisation, la spectrométrie à décharge luminescente SDL, (en anglais GDOS : « Glow Discharge Optical Spectrometry ») a connu un essor important au cours de ces dernières années dans les domaines de l’automobile, de la métallurgie, de l’énergie ou de l’armement principalement. L’intérêt pour cette technique s’est encore renforcé depuis le développement des sources à radiofréquence (GDRF : « Glow Discharge Radio Frequency source ») qui permettent l’extension de la méthode au domaine des matériaux non conducteurs.

Bien entendu, cette technique ne peut prétendre à elle seule décrire tous les aspects de la surface, car elle ne fournit que des profils de concentration élémentaires. Les informations pourront être complétées par celles obtenues par d’autres techniques courantes (microscope à balayage, microsonde, profils par voie chimique, etc.) ou plus sophistiquées (spectrométrie XPS, Auger, des ions secondaires, etc.).

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DOI (Digital Object Identifier)

https://doi.org/10.51257/a-v1-cor875


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2. Analyse des matériaux isolants

2.1 Principe des sources à radiofréquence

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2.1.1 Limitations des sources à courant continu

Alors que l’application d’une différence de potentiel suffisante permet d’assurer la pulvérisation cathodique d’un matériau conducteur dans une lampe à courant continu, dc, l’entretien de la décharge ne se produit pas lorsque l’échantillon est isolant. En analyse élémentaire les produits non conducteurs, broyés très finement et mélangés à une poudre conductrice (cuivre, argent ou graphite) peuvent être analysés avec une bonne précision en retenant le mode « puissance imposée » . Dans le cas de l’analyse de surface d’un échantillon isolant, l’écoulement des charges ne peut se faire et, très rapidement un effet de charge opposé à la polarisation de l’électrode diminue le potentiel appliqué à la décharge jusqu’à rendre son maintien impossible. La surface de l’échantillon se charge positivement à cause du bombardement des ions Ar+ et surtout de la perte d’électrons intervenant dans la neutralisation d’ions venant frapper la surface. Les ions Ar+ sont alors repoussés, empêchant l’érosion. Pour résoudre ces problèmes un autre type de décharge a été proposé plus récemment. Il s’agit en fait d’utiliser à des fins analytiques  un principe...

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BIBLIOGRAPHIE

  • (1) - GRIMM (W.) -   Nouvelle lampe à décharge luminescente pour l’analyse spectrale d’émission.  -  Spectrochimica Acta 23B, p. 443 (1968).

  • (2) - BERNERON (R.), HOCQUAUX (H.) -   Méthodes usuelles de caractérisation des surfaces,  -  p. 91, Eyrolles éd. David (D.) et Caplain (R.), Paris (1988).

  • (3) - BERNERON (R.) -   L’analyse des surfaces métalliques par spectrométrie d’émission à décharge luminescente.  -  Spectrochimica Acta 33B p. 665 (1978).

  • (4) - HOCQUAUX (H.), MEILLAND (R.), BOUTIN (G.) -   Depth profiling with a constant current mode and a control of the voltage.  -  XXVIII CSI Post symposium « Analytical applications of glow discharges in optical and mass spectrometry ». York, juil. 1993.

  • (5) - BERNERON (R.), MANENC (J.) -   Application de la spectrométrie à décharge luminescente à l’analyse superficielle des aciers.  -  Mem. SCI. Rev. Met. 1, I.II (1978).

  • ...

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