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Les articles Recherche et Innovation présentent des technologies en cours de développement, émergentes, qui n'ont pas encore atteint leur pleine maturité pour un développement industriel mais sont prometteuses.
Cet article a pour but de montrer l’intérêt d’une assistance plasma dans un procédé ALD... . La première section de cet article permet d’introduire et de définir les plasmas froids... ainsi que les réacteurs associés. La seconde section porte sur les avantages d’une assistance plasma dans un procédé ALD... sur l’impact de l’assistance plasma sur leurs propriétés physico-chimiques ou électriques. Enfin...
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