réacteurs ALD... Les réacteurs de dépôt de couche minces par ALD (Atomic Layer Deposition) pour une variété d... et technologies à la base des réacteurs de dépôt ALD. Un réacteur de dépôt est un objet macroscopique permettant... de réacteurs ALD qui ont été élaborés à ce jour sont présentées. Finalement, quelques applications pratiques...
Les articles Recherche et Innovation présentent des technologies en cours de développement, émergentes, qui n'ont pas encore atteint leur pleine maturité pour un développement industriel mais sont prometteuses.
), suivant la température de dépôt et suivant le type de réacteur ALD utilisé. Le TiN reste le matériau le plus utilisé... parcourue dans l’enceinte chauffée varie d’un étage à l’autre. La fenêtre ALD de ce type de réacteur... , la chimie des précurseurs, les mécanismes de croissance ainsi que les différents type de réacteurs (avec... ou sans assistance plasma) sont décrits. L’ALD est arrivée assez tardivement en microélectronique...
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ainsi que les réacteurs associés. La seconde section porte sur les avantages d’une assistance plasma dans un procédé ALD... , avec le développement de réacteurs plasmas atmosphériques pour assister l’ALD et ainsi se passer de la technologie... de réacteurs plasma pour assister l’ALD. Deux utilisent une source inductive tandis que le troisième utilise... une source capacitive. Radical Enhanced ALD Dans ce type de réacteur, on utilise une source plasma...
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