- Article de bases documentaires : RECHERCHE ET INNOVATION
|- 10 nov. 2016
|- Réf : RE251
Le procédé d’ALD (Atomic Layer Deposition) nécessite des précurseurs qui présentent une volatilité... de sélectionner la famille de précurseurs appropriée à un procédé. L’ALD (Atomic Layer Deposition... de ces molécules. L’objectif de cet article est de donner à des utilisateurs de procédés ALD, chimiste ou pas... matériaux, voire de nouveaux procédés ALD. Le défi à relever dans cette chimie des précurseurs ALD...
Les articles Recherche et Innovation présentent des technologies en cours de développement, émergentes, qui n'ont pas encore atteint leur pleine maturité pour un développement industriel mais sont prometteuses.
- Article de bases documentaires : RECHERCHE ET INNOVATION
|- 10 nov. 2016
|- Réf : RE254
procédé ALD... pour la réalisation d’un procédé d’ALD. Nous allons ensuite formuler des critères de performance qui permettent d... : Overview and general trends . . Le procédé générique d’ALD, tel qu’illustré à la figure 1 , s’appuie... . Une réaction d’ALD n’utilisant que des molécules stables est appelée procédé d’ALD thermique. Dans un procédé d...
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- Article de bases documentaires : RECHERCHE ET INNOVATION
|- 10 nov. 2016
|- Réf : RE255
le procédé adapté à la production. La technique ALD a été introduite en microélectronique dès le début... procédé PEALD... ou sans assistance plasma) sont décrits. L’ALD est arrivée assez tardivement en microélectronique... . Le principal atout de l’ALD est sa capacité à fabriquer des films très minces avec un excellent contrôle...
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