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Photolithographie : définition

Technique optique qui permet de transférer une image (généralement présente sur un masque) sur un substrat. On utilise en général une couche intermédiaire photosensible (résine ou PMMA, polyméthacrylate de méthyle). C'est une des méthodes principales de fabrication de masse des circuits de la microélectronique.

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Photolithographie dans les ressources documentaires

  • ARTICLE INTERACTIF
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  • 10 janv. 2019
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  • Réf : E4045

Optiques binaires et application à l’imagerie

avec un unique masque de photolithographie, parents proches de la famille des optiques binaires. Cet article... en photolithographie s’appelle gravure en niveaux de gris . Elle peut être obtenue avec l’utilisation... être réalisées par un unique masque de photolithographie . Les optiques binaires sont codées par une succession... sont donc plus facilement réalisables par des méthodes de photolithographie. L’efficacité à l’ordre 3 de ces anneaux...

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  • Article de bases documentaires
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  • 10 oct. 2005
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  • Réf : NM550

Modeler des nano-objets dans des moules de cristal

La microélectronique est en quête perpétuelle de miniaturisation, et ce dans le but d'améliorer les performances des dispositifs tout en diminuant leur coût de fabrication. La modélisation des nano-objets est ainsi une voie prometteuse dans des domaines tels que les lasers, les nouvelles technologies de l’information et de la communication ou encore la biodétection. Cet article propose un aperçu de l’évolution des nanotechnologies dans un premier temps. Les différents dispositifs mis en oeuvre et les limites physiques et technologiques de cette modelisation sont par la suite passés en revue. Ainsi, l’auto-organisation spontanée ou encore l’application des boîtes quantiques sont autant d’aspects détaillés.

  • Article de bases documentaires : RECHERCHE ET INNOVATION
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  • 10 sept. 2021
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  • Réf : RE289

Impression 3D « volumique » : du décimètre au µm ?

Eviter la mise en place de couches en fabrication additive (stéréolithographie) ou oublier l’introduction de supports de réalisation d’un objet 3D complexe non déformé, c’est ce que fait l’impression 3D « volumique » par apport précis dans le volume de l’énergie « utile » à la transformation souhaitée. Il s’agit d’exploiter des processus non-linéaires, simultanés ou séquentiels, qui, pour la plupart, font intervenir la lumière. Les avantages précités doivent donc être mis en regard avec le besoin de transparence des milieux réactifs classiques en 3D, empêchant par exemple la réalisation d’objets en métal. Cet article présente l’état de l’art, les tendances actuelles avec des limites, et tout le potentiel de cette technologie en devenir (en particulier en termes de résolution spatiale).


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