- Article de bases documentaires : RECHERCHE ET INNOVATION
|- 10 nov. 2016
|- Réf : RE255
procédé PEALD... , les couches de zircone obtenues par ALD et PEALD sont polycristallines, ou formées de cristallites enrobées... obtenus contiennent une forte concentration de résidus carbonés. L’utilisation d’un dépôt PEALD permet... génération de MIM Ta 2 O 5 a utilisé des couches d’oxyde MOCVD, la technique PEALD a rapidement été...
Les articles Recherche et Innovation présentent des technologies en cours de développement, émergentes, qui n'ont pas encore atteint leur pleine maturité pour un développement industriel mais sont prometteuses.
- Article de bases documentaires : RECHERCHE ET INNOVATION
|- 10 oct. 2016
|- Réf : RE260
PEALD... . Dans cette section, de nombreux exemples de matériaux déposés par PEALD sont donnés avec à chaque fois une discussion... déposées par PEALD sont nombreux. Cette assistance peut être utilisée pour modifier (augmenter) la vitesse... cristalline, etc. Tous ces avantages sont présentés et discutés ici dans cet article. Les procédés PEALD...
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- Article de bases documentaires : RECHERCHE ET INNOVATION
|- 10 nov. 2016
|- Réf : RE265
. . Un procédé ALD assisté par plasma (PEALD) pour le dépôt d’oxyde d’étain peut aussi être utilisé... ’un autre côté, la croissance épitaxiale par PEALD de 80 nm de TiO 2 directement sous sa forme brookite permet... entre autre comme capteur pour CO et l’éthanol. Dans le cas de nanotubes de SnO 2 préparés par PEALD, une conservation...
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