des procédés : CVD (dépôt chimique en phase vapeur) ; PVD (dépôt physique en phase vapeur) ; PACVD...
Les articles de référence permettent d'initier une étude bibliographique, rafraîchir ses connaissances fondamentales, se documenter en début de projet ou valider ses intuitions en cours d'étude.
Les procédés de dépôt sous vide par procédés plasma ont connu un essor important au cours des décennies passées : au niveau technologique avec l'introduction de plusieurs nouvelles sources et au niveau applicatif avec un chiffre d'affaires qui a bondi ces dernières décennies dans le domaine des applications mécaniques. Dans cet article, sont traités les différentes configurations plasma, les méth...
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(a-C et ta-C). L'utilisation de procédés hybrides PVD / PACVD (voir § 1.2.1.2) permettent de faire... assisté par plasma (PACVD pour Plasma Assisted Chemical Vapor Deposition ou RPECVD : Remote Plasma... aux méthodes PACVD (parfois couplées avec des techniques d'évaporation – PVD). Mécanismes de croissance... de leur mode de croissance et, donc, des conditions d'élaboration. Que ce soit en PVD ou en PACVD...
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