déposés et de procédés de dépôt. Les couches minces sont utilisées depuis plusieurs décennies... aux couches minces. Il existe plusieurs méthodes de dépôt des couches minces, adaptées chacune à un type... haute fréquence. Procédés de dépôt Les deux procédés de dépôt de couches minces sous vide... Couches minces traditionnelles...
Les articles de référence permettent d'initier une étude bibliographique, rafraîchir ses connaissances fondamentales, se documenter en début de projet ou valider ses intuitions en cours d'étude.
Les couches minces sont un dépôt généralement inférieur à 5 µm d’épaisseur, habituellement obtenu... aux couches minces dites « traditionnelles », a défini ce que l’on entend par couche mince, à savoir un dépôt... des couches minces : méthodes de dépôt ; croissance et nucléation ; adhérence et contraintes... sont également utilisés en couches très minces (50 à 500 nm). Sputtering : le mode de dépôt est quasi...
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L’ALD Spatial (SALD) est une variation de l’ALD où les précurseurs sont injectés en des endroits différents, et séparés par une région inerte. La croissance du film est réalisée par exposition du substrat à des emplacements contenant des précurseurs différents. Dans cet article, les principes fondamentaux de la SALD et son développement historique sont présentés. Ensuite, une description succinct...
Les articles Recherche et Innovation présentent des technologies en cours de développement, émergentes, qui n'ont pas encore atteint leur pleine maturité pour un développement industriel mais sont prometteuses.
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