Technique optique qui permet de transférer une image (généralement présente sur un masque) sur un substrat. On utilise en général une couche intermédiaire photosensible (résine ou PMMA, polyméthacrylate de méthyle). C'est une des méthodes principales de fabrication de masse des circuits de la microélectronique.
avec un unique masque de photolithographie, parents proches de la famille des optiques binaires. Cet article... en photolithographie s’appelle gravure en niveaux de gris . Elle peut être obtenue avec l’utilisation... être réalisées par un unique masque de photolithographie . Les optiques binaires sont codées par une succession... sont donc plus facilement réalisables par des méthodes de photolithographie. L’efficacité à l’ordre 3 de ces anneaux...
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(Marcoussis). À ce jour, l'industrie de la microélectronique utilise la photolithographie par projection... ). Dans les laboratoires de recherche, l'utilisation de la photolithographie par contact est plus courante : on dépose d... entre chaque niveau (encadré 1 ). La nanoimpression est une alternative à la photolithographie. Initialement... , comme alternative à la photolithographie * . ITRS : International Technology Roadmap for Semiconductors...
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Eviter la mise en place de couches en fabrication additive (stéréolithographie) ou oublier l’introduction de supports de réalisation d’un objet 3D complexe non déformé, c’est ce que fait l’impression 3D « volumique » par apport précis dans le volume de l’énergie « utile » à la transformation souhaitée. Il s’agit d’exploiter des processus non-linéaires, simultanés ou séquentiels, qui, pour la plupart, font intervenir la lumière. Les avantages précités doivent donc être mis en regard avec le besoin de transparence des milieux réactifs classiques en 3D, empêchant par exemple la réalisation d’objets en métal. Cet article présente l’état de l’art, les tendances actuelles avec des limites, et tout le potentiel de cette technologie en devenir (en particulier en termes de résolution spatiale).
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