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RÉSUMÉ
La microscopie électronique en transmission est basée sur l'interaction des électrons avec la matière qui entraîne une distribution non uniforme de l'intensité du faisceau sur la face de sortie de la lame mince. Cependant, cette non-uniformité ne permet pas, en général, d'obtenir une image avec un contraste suffisant. Pour avoir des images exploitables, il faut seulement sélectionner une partie du faisceau d'électrons à l'aide d'un diaphragme. Le contraste est donc créé par les manipulations de l'opérateur et dépend du processus opératoire.
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Transmission electron microscopy is based upon the interaction of electrons with matter which causes a non-uniform distribution of the intensity of the beam on the output side of the thin blade. However, this non-uniformity does not generally allow for obtaining an image with sufficient contrast. In order to obtain usable images, it is sufficient to select a part of the electron beam by means of a diaphragm. The contrast is thus created by manipulations from the operator and depends on the operating process.
Auteur(s)
-
Miroslav KARLÍk : Czech Technical University in Prague
-
Bernard JOUFFREY : École Centrale Paris
INTRODUCTION
Ce dossier traite, de manière pratique, de la formation de l'image globale en microscopie électronique en transmission (MET), qui est obtenue de différentes manières. Le point essentiel concerne la position du diaphragme, dit de contraste, qui se trouve dans le plan focal de la lentille objectif. Les différents types de contraste, notamment de diffraction, d'interférences (contraste de phase), en Z (utilisé en STEM, microscopie électronique à balayage en transmission) sont répertoriés dans ce texte.
L'énergie des électrons, la qualité de la source (émission de champ, cathode émissive en LaB6 ...) sont également primordiales. La correction des aberrations de l'objectif, notamment l'aberration sphérique, permet d'améliorer fortement la résolution, puisqu'elle peut être maintenant meilleure que le dixième de nanomètre (elle peut atteindre 0,05 nm).
Il est montré que le contraste d'une image est profondément relié aux diverses réflexions qui constituent le diagramme de diffraction (par exemple dans l'étude des précipités).
Le mode haute résolution (contraste d'interférences) permet d'observer l'image dite de structure qui, selon la résolution du microscope, révèle des colonnes ou des petits ensembles de colonnes atomiques. Dans cette approche, les défauts cristallins peuvent être observés et leurs caractéristiques déterminées, mais en prenant également quelques précautions qui dépendent du niveau d'information désiré. L'utilisation de codes de simulations des images est devenue indispensable.
Le dossier aborde rapidement l'holographie qui permet, par exemple, d'étudier des répartitions de potentiel électrique dans des coupes minces de transistors.
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6. Contraste en Z
La méthode du contraste en Z (où Z est le numéro atomique des éléments) est une technique d'imagerie incohérente. Il s'agit d'une approche assez récente dans le domaine de la microscopie à résolution atomique. Elle a été, à l'origine, proposée par Howie et développée par Pennycook et son équipe Étude des métaux par microscopie électronique en transmission (MET)- Formation des images[27]. Elle permet d'obtenir des images – des cartes du pouvoir diffusant des échantillons – qui sont directement interprétables. Il n'y a plus la difficulté introduite par la phase comme en haute résolution classique. Cette méthode est facilement utilisée à l'aide d'un microscope en transmission à balayage (STEM) dédié (figure 25) qui ne possède que l'étage au-dessus de l'échantillon (canon, condenseurs, objectif) ainsi que des détecteurs (figure 26) au-dessous de l'échantillon [M 4 134] Étude des métaux par microscopie électronique en transmission (MET)- Formation des images[2]. Cependant, la plupart des microscopes en transmission classiques (formation globale de l'image), et récents, sont aussi équipés d'un dispositif de balayage et de détecteurs d'électrons. Dans les deux cas, l'observation ne se fait plus sur un écran comme en MET conventionnel,...
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Contraste en Z
BIBLIOGRAPHIE
-
(1) - REIMER (L.) - Transmission Electron Microscopy. - 3rd ed., Springer Series in Optical Sciences, vol. 36, Springer-Verlag, Berlin, 545 p. (1993).
-
(2) - WILLIAMS (D.B.), CARTER (C.B.) - Transmission Electron Microscopy. - Plenum Press, New York, 729 p. (1996).
-
(3) - SPENCE (J.C.H.) - High-Resolution Electron Microscopy. - 3rd ed., Oxford Univ. Press, New York, 401 p. (2003).
-
(4) - JOUFFREY (B.), BOURRET (A.), COLLIEX (C.) - Microscopie électronique en science des matériaux. - École d'été CNRS, Bombannes (1981).
-
(5) - EPICIER (T.), THIBAULT (J.) - Microscopie Électronique à Haute Résolution. - Dans J.P. MORNIROLLI (Ed.) Microscopie des défauts cristallins, École thématique, St Pierre d'Oléron, Société Française des Microscopies, p. 229-277 (2001).
-
(6) - KARLÍK...
1 À lire également dans nos bases
PAQUETON (H.) - RUSTE (J.) - Microscopie électronique à balayage. Principe et équipement - [P 865]. Base « Technique d'analyse » (2006).
JOUFFREY (B.) - PORTIER (R.A.) - Diffraction des métaux et alliages. Interactions particules-matière - [M 4 125]. Base « Étude et propriétés des métaux » (2007).
JOUFFREY (B.) - PORTIER (R.A.) - Diffraction des métaux et alliages : conditions de diffraction - [M 4 126]. Base « Étude et propriétés des métaux » (2007).
KARLÍK (M.) - JOUFFREY (B.) - Étude des métaux par microscopie électronique en transmission (MET). Microscope, échantillons et diffraction - [M 4 134]. Base « Étude et propriétés des métaux » (2008).
KARLÍK (M.) - JOUFFREY (B.) - Étude des métaux par microscopie électronique en transmission (MET). Analyse chimique - [M 4 136]. Base « Étude et propriétés des métaux » (2008).
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