Présentation
Auteur(s)
-
Charles ENGELMANN :
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Lire l’articleINTRODUCTION
1 Principe de fonctionnement
1.1 Nature et énergie des projectiles
1.2 Effets d'origines atomique et nucléaire exploités
2 Appareillage
2.1 Accélérateur et ligne de faisceau
2.2 Système de focalisation
2.3 Dispositif de balayage
2.4 Enceinte d'analyse
2.5 Électronique d'exploitation
3 Possibilités et performances
3.1 Spécificité pour les isotopes des éléments légers
3.2 Seuils de détection
3.3 Résolution (latérale et en profondeur)
3.4 Profils de concentration
3.5 Images de répartition
3.6 Autres possibilités
3.7 Étalonnage et précision
4 Exemples d'applications
4.1 Archéologie
4.2 Biologie
4.3 Géologie
4.4 Métallurgie
4.5 Microélectronique
4.6 Autres applications
5 Comparaison avec d'autres microanalyseurs
Documentation
VERSIONS
- Version archivée 2 de oct. 1995 par Gilles REVEL, Jean-Paul DURAUD
- Version courante de sept. 2005 par Pascal BERGER, Gilles REVEL
DOI (Digital Object Identifier)
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