1 - CONTEXTE

• 1.1 - Nanotechnologie et nanosystèmes mécaniques (NEMS)
  Figure 1 - Photographie d’un transistor à un électron (SET) dont la grille est remplacée par une poutre résonante, source Hopkins et al. 2004
• 1.2 - Origines des bruits dans les NEMS

2 - BRUITS DANS LES NANOSTRUCTURES

• 2.1 - Cas particulier. Bruit brownien
  Figure 2 - Exemple de trajectoire brownienne Figure 3 - Représentation d’une fonction de transfert typique en échelle logarithmique pour un facteur de qualité de 10
• 2.2 - Dissipation et bruit dans un nanocapteur inertiel
  Figure 4 - Géométrie typique d’un accéléromètre « hors plan » Figure 5 - Définition des régimes d’écoulement en fonction du nombre de Knudsen Figure 6 - Distribution de la composante vx de la vitesse pour une particule Figure 7 - Trajectoire d’une particule de gaz sous la masse sismique. La vitesse de la particule est considérée comme constante durant son parcours Figure 8 - Poutre en vue 3D Tableau 1 - Dimensions typiques d’un accéléromètre « hors plan » Tableau 2 - Les différents régimes d’écoulement Tableau 3 - Différentes expressions du facteur de proportionnalité k Tableau 4 - Masse, fréquence propre de résonance, facteur de qualité Q et bruit [...] Tableau 5 - Masse, fréquence propre de résonance, facteur de qualité Q et bruit [...]
• 2.3 - Dissipations et bruits dans un nanorésonateur
  Figure 9 - Facteurs de qualité issu du modèle standard de Zener et du calcul exact proposé par Lifshitz et al. en échelle logarithmique Figure 10 - Facteur de qualité en fonction de la longueur et de la largeur de la poutre Figure 11 - Coefficient de qualité relatif au support en format logarithmique Figure 12 - Coefficient de qualité relatif aux pertes de surface en échelle logarithmique Figure 13 - Coefficient de qualité relatif aux pertes de surface en fonction de la largeur et de l’épaisseur de la poutre Figure 14 - Densité spectrale de bruit centrée sur la fréquence de la porteuse ν1 (fréquence de vibration fondamentale de la poutre) de forme lorentzienne Figure 15 - Modèle électrique utilisé pour calculer le bruit induit par les fluctuations en température Tableau 6 - Caractéristiques géométriques de la poutre donnée en exemple Tableau 7 - Propriétés physiques utilisées
• 2.4 - Conclusion
  Figure 16 - Facteurs de qualité en fonction de l’épaisseur de la poutre Tableau 8 - Résumé des différentes formes de bruit abordés

3 - CONCLUSION ET PERSPECTIVES