Microcapteurs chimiques en micropoutres silicium pour régime dynamique

Certaines substances contenues dans l'air ambiant, notamment des composés organiques volatils, sont maintenant et unanimement rendues responsables de nombreux problèmes de santé. Le besoin de quantifier ces composés a permis la mise au point de capteurs chimiques, dont les microcapteurs à base de micropoutres en silicium. Le principe de fonctionnement de ces capteurs est basé sur la variation de la fréquence de résonance d'une micropoutre, recouverte d'une couche sensible, en fonction de la concentration en espèces cibles présentes dans l'environnement. Cet article effectue une approche théorique de ce type de capteurs, avant d’en présenter la mise en œuvre. Les microcapteurs en micropoutres silicium ont l’avantage de détecter une grande variété d’analytes.

Certain substances contained in the ambient air, and notably volatile organic compounds have been unanimously made responsible for a large number of health issues. The need for quantifying these compounds has allowed for the development of chemical sensors including micro-sensors with silicon-micro-beams. the operation principle of these sensors is based on the variation of the resonance frequency of a micro-beam, covered with a sensitive layer, according to the concentration in target species present in the environment. This article provides a theoretical approach for this type of sensors before presenting their implementation. Micro-sensors with silicon micro-beams present the advantage to detect a large variety of analytes.