État de l’art sur les supercondensateurs intégrables
Micro-supercondensateurs : enjeux technologiques et applications

L’essentiel des recherches sur le stockage à la micro-échelle de l’énergie électrique concernait jusqu’à présent les batteries imprimées et les micro-batteries. L’apparition et l’accroissement en nombre durant la dernière décennie de publications, concernant le développement de supercondensateurs pour la micro-électronique (figure 1), révèlent le besoin d’intégrer de nouveaux micro-dispositifs de stockage de l’énergie aux caractéristiques différentes.

Tout comme les batteries sur substrats souples , les supercondensateurs en films flexibles sont réalisés par l’empilement sur de larges surfaces de fines couches d’électrodes et d’électrolyte. Ces supercondensateurs s’inscrivent dans la mouvance de l’électronique organique imprimée pour les équipements électroniques portables, légers et flexibles.

Depuis quelques années, apparaissent également des travaux sur l’intégration de micro-supercondensateurs, le terme “micro” faisant référence aux techniques de micro-fabrication utilisées pour leur fabrication, et à la résolution de leurs motifs d’électrode. Les micro-supercondensateurs ont généralement une taille d’empreinte inférieure au cm² et une épaisseur totale de l’ordre de quelques centaines de µm. Les micro-technologies utilisées permettent leur miniaturisation et leur fabrication collective sur un substrat de type silicium, verre, ou polymère, en vue d’une intégration monolithique avec les différents composants électroniques du micro-système (transducteur, électronique de gestion, capteurs et actionneurs). La compatibilité des procédés est donc un point essentiel quant au choix de la technologie associée.