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Auteur(s)
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Alfred PERMUY :
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Lire l’articleINTRODUCTION
Introduction : apport de la microélectronique à la technologie descapteurs
1 Matériaux de la microélectronique
1.1 Silicium (structure cristalline, caractéristiques mécaniques ettribologiques, piézorésistance)
1.2 Dérivés du silicium : SiO2 et Si3N4
1.3 Autres matériaux
2 Technologie du micro-usinage collectif
2.1 Caractéristiques générales
2.2 Gravure plasma RIE
2.3 Gravure isotrope liquide
2.4 Gravure anisotrope liquide (principales caractéristiques, influence dudopant, gravure électrochimique)
3 Techniques d'assemblage
3.1 Problématique
3.2 Colles
3.3 Soudure électrostatique verre-silicium
3.4 Soudure silicium/silicium
4 Application des structures micro-usinées
4.1 Capteurs de pression
4.2 Microphones
4.3 Capteurs d'accélération
4.4 Capteurs de champ magnétique
4.5 Capteurs chimiques
5 Capteurs non micro-usinés
5.1 Capteurs de température
5.2 Capteurs de débit
5.3 Capteurs de force
5.4 Capteurs sensitifs
5.5 Capteurs photoniques
5.6 Capteurs magnétiques
5.7 Capteurs chimiques
6 Conclusion
Pour en savoir plus
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