Les dispositifs à base de microsystèmes (MEMS) représentent un grand potentiel pour la métrologie et l'instrumentation électrique de précision. De petites dimensions, de faible consommation et de coût réduit en production de masse, ils offrent de surcroît une bonne stabilité et un moindre bruit en 1/f. En pratique cependant, la stabilité des composants microsystèmes est souvent limitée par des effets de charge électrostatique aux surfaces et interfaces, ainsi que sur les couches diélectriques. les travaux actuels tentent de détourner ce problème.