Alain ESTÈVE
CNRS, LAAS, 7 avenue du Colonel Roche, F-31400 Toulouse, France - Université de Toulouse, LAAS, F-31400 Toulouse, France
Découvrez une démarche de simulation permettant d’approcher, à une granulométrie atomistique, les mécanismes élémentaires mis en jeu lors des procédés ALD. Cette méthode de choix reste cependant difficile à mettre en œuvre.