Nicolas CHEVALIER
Ingénieur Chercheur, CEA, LETI, MINATEC Campus, F-38054 Grenoble, France
Le principe de la microscopie à sonde locale électrique permet d’accéder, avec une résolution spatiale de l’ordre du nanomètre, aux grandeurs telles que le courant, l’impédance ou encore le champ électrique. Chaque technique possède ses performances, ses sources d’erreur et ses pistes d’amélioration.