Cet article traite des méthodes de microanalyse pour déterminer la composition chimique élémentaire des surfaces et des couches minces. Il explore l'utilisation de particules énergétiques primaires comme les électrons, photons, neutrons, protons ou ions lourds pour sonder les matériaux et analyser les interactions avec les atomes. Les différentes techniques de microanalyse sont regroupées en trois catégories selon les particules primaires utilisées : l’irradiation aux électrons, aux ions et aux photons. L'article détaille les aspects de détectabilité des éléments, la localisation spatiale de l’analyse, les limites de détection, les dégâts d’irradiation, et les effets de charge sur les isolants soumis à un bombardement​.